[发明专利]薄片晶圆传输方法

权利要求书

1.一种薄片晶圆传输方法，应用于伯努利机械手在晶圆盒和处理室之间传输晶圆，伯努利机械手配置有气路，该气路用于为伯努利机械手提供气体，其特征在于，包括以下步骤：

识别晶圆盒中的晶圆厚度；

获取与晶圆厚度相匹配的气流参数，每个气流参数包括两个气体流量，分别记为第一气体流量和第二气体流量，第一气体流量小于第二气体流量；

气路向伯努利机械手提供具有与传输的晶圆厚度相匹配的第一气体流量的气体，伯努利机械手以第一气体流量将晶圆从晶圆盒搬出；

之后，气路向伯努利机械手提供具有与传输的晶圆厚度相匹配的第二气体流量的气体，伯努利机械手以第二气体流量将晶圆传输至处理室。

2.根据权利要求1所述的薄片晶圆传输方法，其特征在于，所述薄片晶圆的厚度为50μm～400μm。

3.根据权利要求1所述的薄片晶圆传输方法，其特征在于，所述伯努利机械手配置的气路包括主气路，主气路的一端连接气源，主气路的另一端连接伯努利机械手，主气路上沿气流方向依次配置有主流量调节阀、主开关阀和主质量流量控制器，所述方法包括通过主质量流量控制器用于调节主气路中的气体流量。

4.根据权利要求3所述的薄片晶圆传输方法，其特征在于，

在晶圆从晶圆盒搬出的过程中，主质量流量控制器调节主气路中的气体流量，以使主气路向伯努利机械手提供具有与传输的晶圆厚度相匹配的第一气体流量的气体；

在晶圆从晶圆盒搬出之后，传输至处理室的过程中，主质量流量控制器调节主气路中的气体流量，以使主气路向伯努利机械手提供具有与传输的晶圆厚度相匹配的第二气体流量的气体。

5.根据权利要求3所述的薄片晶圆传输方法，其特征在于，所述伯努利机械手配置的气路还包括分支气路，分支气路的一端连接在主开关阀的下游侧，另一端连接在主质量流量控制器的上游侧，分支气路上设置有分支流量调节阀，分支流量调节阀用于调节分支气路中的气体流量。

6.根据权利要求5所述的薄片晶圆传输方法，其特征在于，

分支气路用于在晶圆从晶圆盒搬出过程中向伯努利机械手提供具有与传输的晶圆厚度相匹配的第一气体流量的气体；

主气路用于在晶圆从晶圆盒搬出之后，传输至处理室的过程中，向伯努利机械手提供具有与传输的晶圆厚度相匹配的第二气体流量的气体。

7.根据权利要求1所述的薄片晶圆传输方法，其特征在于，所述伯努利机械手配置的气路包括第一气路和第二气路，

第一气路的一端连接气源，另一端连接伯努利机械手，第一气路上沿气流方向依次配置有第一流量调节阀、第一开关阀和第一质量流量控制器，第一质量流量控制器用于调节第一气路中的气体流量；

第二气路的一端连接气源，另一端连接伯努利机械手，第二气路上沿气流方向依次配置有第二流量调节阀、第二开关阀和第二质量流量控制器，第二质量流量控制器用于调节第二气路中的气体流量。

8.根据权利要求7所述的薄片晶圆传输方法，其特征在于，

第一气路用于在晶圆从晶圆盒搬出过程中，向伯努利机械手提供具有与传输的晶圆厚度相匹配的第一气体流量的气体；

第二气路用于在晶圆从晶圆盒搬出之后，传输至处理室的过程中，向伯努利机械手提供具有与传输的晶圆厚度相匹配的第二气体流量的气体。

9.根据权利要求1所述的薄片晶圆传输方法，其特征在于，所述晶圆盒上设置有识别码，识别码具有晶圆厚度信息，所述方法通过读取晶圆盒上的识别码，识别晶圆盒中的晶圆厚度。

10.根据权利要求1所述的薄片晶圆传输方法，其特征在于，所述处理室为背面清洗腔，伯努利机械手将晶圆传输至背面清洗腔之前，伯努利机械手翻转，将晶圆的正面朝下，背面朝上，在伯努利机械手翻转之前，气路向伯努利机械手提供的气体流量由与传输的晶圆厚度相匹配的第一气体流量提升至第二气体流量。