[发明专利]用于三维重建的数据获取和处理技术

权利要求书

1.一种方法，其包含：

暴露样品的后续表面；

获取所述后续表面的图像；

将所述后续表面的所述图像与参考表面的图像进行比较；

基于所述比较超过阈值，获取所述后续表面的组成或晶体映图；以及

基于所述比较未超过所述阈值，暴露下一个表面。

2.根据权利要求1所述的方法，其还包含：

获取所述下一个表面的图像；

将所述下一个表面的所述图像与所述参考图像进行比较；

基于所述比较超过阈值，获取所述下一个表面的组成或晶体映图；以及

基于所述比较未超过所述阈值，暴露附加的表面。

3.根据权利要求1所述的方法，其进一步包含：

对多个表面重复暴露、获取和比较的步骤，其中所述多个表面的表面子集将具有相关联的图像和相关联的晶体或组成映图，并且其中所述多个表面的其余表面将具有相关联的图像。

4.根据权利要求3所述的方法，其进一步包含：

使用一个或多个神经网络将晶体或组成映图传播到所述多个表面的所述其余表面。

5.根据权利要求4所述的方法，其中使用一个或多个神经网络将晶体或组成映图传播到所述多个表面的所述其余表面包含：

使用所述一个或多个神经网络对来自所述多个表面的所述表面子集的所述晶体或组成映图进行内插，以形成所述多个表面的所述其余表面的所述晶体或组成映图。

6.根据权利要求5所述的方法，其中使用一个或多个神经网络将晶体或组成映图传播到所述多个表面的所述其余表面包含：

使用所述一个或多个神经网络将所述表面子集的个别表面的晶体或组成映图的像素值与所述表面子集的所述个别表面的图像的像素值相关联；以及

使用所述一个或多个神经网络，基于相关联的像素值将晶体或组成映图的像素值分配给所述其余表面中的一个的图像的像素值。

7.根据权利要求1所述的方法，其中至少将所述后续表面的所述图像与所述参考表面的图像进行比较的过程是由神经网络执行。

8.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括：

获取所述后续表面的稀疏组成或晶体映图。

9.一种设备，其包含：

耦合以提供电子束的电子柱；

耦合以提供聚焦离子束的聚焦离子束柱；

布置为至少检测二次电子、x射线和背向散射电子的多个检测器；以及

至少耦合到所述电子柱、所述聚焦离子束柱和所述多个检测器中的每个检测器的控制器，所述控制器包括或耦合到代码，所述代码在由所述控制器执行时致使所述设备：

由所述聚焦离子束暴露样品的后续表面；

获取所述后续表面的图像；

将所述后续表面的所述图像与参考图像进行比较，所述参考图像是参考表面的图像；

基于所述比较超过阈值，获取所述后续表面的组成或晶体映图；以及

基于所述比较未超过所述阈值，暴露下一个表面。

10.根据权利要求9所述的设备，其中所述控制器进一步包括或耦合到代码，所述代码在由所述控制器执行时致使所述设备：

获取所述下一个表面的图像；

将所述下一个表面的所述图像与所述参考图像进行比较；

基于所述比较超过阈值，获取所述下一个表面的组成或晶体映图；以及

基于所述比较未超过所述阈值，暴露后续表面。

11.根据权利要求9所述的设备，其中所述控制器进一步包括或耦合到代码，所述代码在由所述控制器执行时致使所述设备：

对多个表面重复暴露、获取和比较的步骤，其中所述多个表面的表面子集将具有相关联的图像和晶体或组成映图，并且其中所述多个表面的其余表面将具有相关联的图像。