[发明专利]用于晶圆退火的承载台

说明书

本发明公开了一种用于晶圆退火的承载台，晶圆具有待检测部，承载台包括本体，本体形成有至少一个贯通孔，贯通孔的形状与待检测部的形状相匹配，每个贯通孔的周缘部用于承载待检测部的边缘部。根据本发明的用于晶圆退火的承载台，可以减小待检测部在退火时其边缘部和中心部的升温速率的差异，保证整个待检测部退火效果的一致性。

技术领域

本发明涉及晶圆退火技术领域，尤其是涉及一种用于晶圆退火的承载台。

背景技术

晶圆在检测电阻率等参数之前，一般通过退火来消除晶圆的热施主缺陷。然而，相关技术中，晶圆在退火过程中，晶圆的边缘部和晶圆的中心部之间的升温速率存在较大差异，使得晶圆的边缘部和晶圆的中心部之间的退火效果存在较大差异，导致晶圆后续检测稳定性和准确性欠佳。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种用于晶圆退火的承载台，所述承载台可以减小待检测部在退火时其边缘部和中心部的升温速率的差异，保证整个待检测部退火效果的一致性。

根据本发明实施例的用于晶圆退火的承载台，所述晶圆具有待检测部，所述承载台包括：本体，所述本体形成有至少一个贯通孔，所述贯通孔的形状适于与所述待检测部的形状相匹配，每个所述贯通孔的周缘部用于承载所述待检测部的边缘部。

根据本发明实施例的用于晶圆退火的承载台，通过将承载台的本体设置为中空结构，使得本体形成有至少一个贯通孔，并使得贯通孔的周缘部用于承载待检测部的边缘部，以有效减小晶圆的待检测部快速退火时待检测部边缘部和待检测部中心部的升温速率的差异，保证整个待检测部退火效果的一致性，从而保证待检测部后续检测的稳定性和准确性。

在一些实施例中，所述贯通孔为多个，至少两个所述贯通孔的形状和尺寸中的至少一个不同。

在一些实施例中，所述贯通孔为多个，且包括间隔设置的第一贯通孔和第二贯通孔，所述第一贯通孔和所述第二贯通孔均为扇形孔。

在一些实施例中，所述第一贯通孔的圆弧面的半径和所述第二贯通孔的圆弧面的半径相等。

在一些实施例中，所述第一贯通孔对应的圆心角小于所述第二贯通孔对应的圆心角。

在一些实施例中，所述贯通孔具有变截面孔段，所述变截面孔段的开孔面积沿朝向远离所述待检测部的方向逐渐增大。

在一些实施例中，所述贯通孔的周壁形成有支撑台阶，所述支撑台阶适于支撑所述待检测部的边缘部。

在一些实施例中，所述承载台还包括：限位扣，所述限位扣设于所述本体且位于所述贯通孔的径向外侧，所述限位扣可相对于所述本体在止挡位置和避让位置之间运动，在止挡位置，所述限位扣用于止挡在所述待检测部的背向所述本体的一侧表面，在避让位置，所述限位扣用于释放对所述待检测部的止挡。

在一些实施例中，所述限位扣在所述止挡位置和所述避让位置之间可相对所述本体转动，所述限位扣的转动轴线与所述贯通孔的中心轴线平行，所述限位扣具有避让部和止挡部，所述避让部和止挡部绕所述限位扣的转动轴线依次设置，所述避让部的外边沿与所述转动轴线之间的径向距离小于所述止挡部的外边沿与所述转动轴线之间的径向距离，在所述止挡位置，所述止挡部用于止挡在所述待检测部的背向所述本体的一侧表面，在所述避让位置，所述避让部用于避让所述待检测部的边缘部。

在一些实施例中，所述限位扣可相对所述本体沿所述限位扣的轴向在配合位置和分离位置之间滑移，在分离位置，所述止挡部适于与所述待检测部在所述限位扣的轴向上间隔设置，在所述配合位置，所述止挡部适于与所述待检测部在所述限位扣的轴向上齐平设置，所述承载台还包括：弹性复位件，所述弹性复位件连接在所述限位扣和所述本体之间，且用于推动所述限位扣朝向所述配合位置移动。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。