[发明专利]用于晶圆退火的承载台

权利要求书

1.一种用于晶圆退火的承载台(1)，其特征在于，所述晶圆具有待检测部(3)，所述承载台(1)包括：

本体(11)，所述本体(11)形成有至少一个贯通孔(110)，所述贯通孔(110)的形状适于与所述待检测部(3)的形状相匹配，每个所述贯通孔(110)的周缘部(110a)用于承载所述待检测部(3)的边缘部。

2.根据权利要求1所述的用于晶圆退火的承载台(1)，其特征在于，所述贯通孔(110)为多个，至少两个所述贯通孔(110)的形状和尺寸中的至少一个不同。

3.根据权利要求1所述的用于晶圆退火的承载台(1)，其特征在于，所述贯通孔(110)为多个，且包括间隔设置的第一贯通孔(F1)和第二贯通孔(F2)，所述第一贯通孔(F1)和所述第二贯通孔(F2)均为扇形孔。

4.根据权利要求3所述的用于晶圆退火的承载台(1)，其特征在于，所述第一贯通孔(F1)的圆弧面的半径和所述第二贯通孔(F2)的圆弧面的半径相等。

5.根据权利要求3所述的用于晶圆退火的承载台(1)，其特征在于，所述第一贯通孔(F1)横截面对应的圆心角小于所述第二贯通孔横截面(F2)对应的圆心角。

6.根据权利要求1所述的用于晶圆退火的承载台(1)，其特征在于，所述贯通孔(110)具有变截面孔段，所述变截面孔段的开孔面积沿朝向远离所述待检测部(3)的方向逐渐增大。

7.根据权利要求1-5中任一项所述的用于晶圆退火的承载台(1)，其特征在于，所述贯通孔(110)的周壁形成有支撑台阶(110b)，所述支撑台阶(110b)适于支撑所述待检测部(3)的边缘部。

8.根据权利要求1-5中任一项所述的用于晶圆退火的承载台(1)，其特征在于，所述承载台(1)还包括：

限位扣(12)，所述限位扣(12)设于所述本体(11)且位于所述贯通孔(110)的径向外侧，所述限位扣(12)可相对于所述本体(11)在止挡位置和避让位置之间运动，在止挡位置，所述限位扣(12)用于止挡在所述待检测部(3)的背向所述本体(11)的一侧表面，在避让位置，所述限位扣(12)用于释放对所述待检测部(3)的止挡。

9.根据权利要求8所述的用于晶圆退火的承载台(1)，其特征在于，所述限位扣(12)在所述止挡位置和所述避让位置之间可相对所述本体(1)转动，所述限位扣(12)的转动轴线(120)与所述贯通孔(110)的中心轴线平行，

所述限位扣(12)具有避让部(121)和止挡部(122)，所述避让部(121)和止挡部(122)绕所述限位扣(12)的转动轴线(120)依次设置，所述避让部(121)的外边沿与所述转动轴线(120)之间的径向距离小于所述止挡部(122)的外边沿与所述转动轴线(120)之间的径向距离，在所述止挡位置，所述止挡部(122)用于止挡在所述待检测部(3)的背向所述本体(1)的一侧表面，在所述避让位置，所述避让部(121)用于避让所述待检测部(3)的边缘部。

10.根据权利要求9所述的用于晶圆退火的承载台(1)，其特征在于，所述限位扣(12)可相对所述本体(11)沿所述限位扣(12)的轴向在配合位置和分离位置之间滑移，在分离位置，所述止挡部(122)适于与所述待检测部(3)在所述限位扣(12)的轴向上间隔设置，在所述配合位置，所述止挡部(122)适于与所述待检测部(3)在所述限位扣(12)的轴向上齐平设置，所述承载台(1)还包括：

弹性复位件(13)，所述弹性复位件(13)连接在所述限位扣(12)和所述本体(11)之间，且用于推动所述限位扣(12)朝向所述配合位置移动。