[发明专利]一种OTS选通管的操作方法在审

专利信息
申请号: 202111597040.5 申请日: 2021-12-24
公开(公告)号: CN114284312A 公开(公告)日: 2022-04-05
发明(设计)人: 童浩;温晋宇;缪向水 申请(专利权)人: 华中科技大学;湖北江城实验室
主分类号: H01L27/24 分类号: H01L27/24
代理公司: 华中科技大学专利中心 42201 代理人: 胡秋萍
地址: 430074 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 ots 选通管 操作方法
【权利要求书】:

1.一种OTS选通管的操作方法,其特征在于,包括:在OTS选通管两端施加脉冲,提取每次施加脉冲后OTS选通管的阈值电压Vth;若Vth连续P次增大或Vth连续P次减小,则从下次起施加反向脉冲,并对Vth增大或减小的次数重新计数;其中,P大于或等于2。

2.根据权利要求1所述的OTS选通管的操作方法,其特征在于,在所述OTS选通管两端施加双向脉冲:每施加N次同向脉冲后施加M次反向脉冲;其中,N大于或等于1,M大于或等于1。

3.根据权利要求1或2所述的OTS选通管的操作方法,其特征在于,在所述OTS选通管两端施加的脉冲为三角波。

4.根据权利要求1或2所述的OTS选通管的操作方法,其特征在于,在所述OTS选通管两端施加的脉冲为梯形波或矩形波。

5.根据权利要求1或2所述的OTS选通管的操作方法,其特征在于,所述OTS选通管包括从上到下依次放置的第一电极层、硫系选通材料层和第二电极层。

6.根据权利要求5所述的OTS选通管的操作方法,其特征在于,所述硫系选通材料层的材料为:SiTex、CTex、BTex、GeTex、AlTex、GeSbx、BiTex、AsTex、SnTex和BiTex中的至少一种。

7.根据权利要求5所述的OTS选通管的操作方法,其特征在于,所述硫系选通材料层的材料为:SiTex、CTex、BTex、GeTex、AlTex、GeSbx、BiTex、AsTex、SnTex、BiTex中至少一种化合物掺杂N、Sb、Bi和C中的至少一种元素所形成的混合物。

8.根据权利要求5所述的OTS选通管的操作方法,其特征在于,所述硫系选通材料层的材料为:SiTex、CTex、BTex、GeTex、AlTex、GeSbxTey、GeSbx、BiTex、AsTex、SnTex和BiTex中至少一种化合物掺杂Si元素所形成的混合物。

9.根据权利要求5所述的OTS选通管的操作方法,其特征在于,所述第一电极层和所述第二电极层均为惰性电极材料。

10.根据权利要求9所述的OTS选通管的操作方法,其特征在于,所述惰性电极材料为W、TiW、Pt、Au、Ru、Al、TiN、Ta、TaN、IrO2、ITO和IZO中的至少一种。

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