[发明专利]一种OTS选通管的操作方法在审
申请号: | 202111597040.5 | 申请日: | 2021-12-24 |
公开(公告)号: | CN114284312A | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
发明(设计)人: | 童浩;温晋宇;缪向水 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学;湖北江城实验室 |
主分类号: | H01L27/24 | 分类号: | H01L27/24 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 胡秋萍 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 ots 选通管 操作方法 | ||
1.一种OTS选通管的操作方法,其特征在于,包括:在OTS选通管两端施加脉冲,提取每次施加脉冲后OTS选通管的阈值电压Vth;若Vth连续P次增大或Vth连续P次减小,则从下次起施加反向脉冲,并对Vth增大或减小的次数重新计数;其中,P大于或等于2。
2.根据权利要求1所述的OTS选通管的操作方法,其特征在于,在所述OTS选通管两端施加双向脉冲:每施加N次同向脉冲后施加M次反向脉冲;其中,N大于或等于1,M大于或等于1。
3.根据权利要求1或2所述的OTS选通管的操作方法,其特征在于,在所述OTS选通管两端施加的脉冲为三角波。
4.根据权利要求1或2所述的OTS选通管的操作方法,其特征在于,在所述OTS选通管两端施加的脉冲为梯形波或矩形波。
5.根据权利要求1或2所述的OTS选通管的操作方法,其特征在于,所述OTS选通管包括从上到下依次放置的第一电极层、硫系选通材料层和第二电极层。
6.根据权利要求5所述的OTS选通管的操作方法,其特征在于,所述硫系选通材料层的材料为:SiTex、CTex、BTex、GeTex、AlTex、GeSbx、BiTex、AsTex、SnTex和BiTex中的至少一种。
7.根据权利要求5所述的OTS选通管的操作方法,其特征在于,所述硫系选通材料层的材料为:SiTex、CTex、BTex、GeTex、AlTex、GeSbx、BiTex、AsTex、SnTex、BiTex中至少一种化合物掺杂N、Sb、Bi和C中的至少一种元素所形成的混合物。
8.根据权利要求5所述的OTS选通管的操作方法,其特征在于,所述硫系选通材料层的材料为:SiTex、CTex、BTex、GeTex、AlTex、GeSbxTey、GeSbx、BiTex、AsTex、SnTex和BiTex中至少一种化合物掺杂Si元素所形成的混合物。
9.根据权利要求5所述的OTS选通管的操作方法,其特征在于,所述第一电极层和所述第二电极层均为惰性电极材料。
10.根据权利要求9所述的OTS选通管的操作方法,其特征在于,所述惰性电极材料为W、TiW、Pt、Au、Ru、Al、TiN、Ta、TaN、IrO2、ITO和IZO中的至少一种。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
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H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的