[发明专利]光学谐振腔及其制作方法

说明书

本公开实施例公开了一种光学谐振腔及其制作方法。所述光学谐振腔包括：条形波导，用于传输光信号；环形波导，与所述条形波导并列设置，用于将所述条形波导中满足预设条件的光信号耦合至所述环形波导内，并为耦合至所述环形波导内的光信号的传输提供循环路径；其中，在沿所述循环路径传输的过程中，所述环形波导内的部分光信号耦合至所述条形波导中；反射元件，与所述条形波导的端部连接，用于将接收的来自所述条形波导的至少部分光信号反射以形成反射光信号；所述环形波导，还用于将所述反射光信号中满足所述预设条件的光信号耦合至所述环形波导内。

技术领域

本公开实施例涉及但不限于光通信器件领域，尤其涉及一种光学谐振腔及其制作方法。

背景技术

在量子电动力学和硅基光子学领域，光学谐振腔已经有了广泛的研究和应用。光学谐振腔根据外形特点可分为微球谐振腔、微盘谐振腔、微环谐振腔、微柱谐振腔、微环芯谐振腔等。微环谐振腔由于结构简单、尺寸紧凑、易于集成，并且具有较高的品质因子(quality factor，Q值)和较好的滤波特性，成为硅基光子器件的主要构件之一。

随着硅基光子器件集成度增加，微环谐振腔的尺寸进一步减小。然而，在制作过程中，可能会增加微环谐振腔侧壁的粗糙度，导致光信号在微环谐振腔中传输的损耗增加，微环谐振腔的Q值降低。因此，如何减少光信号在微环谐振腔中传输的损耗，提高微环谐振腔的Q值，成为亟待解决的技术问题。

发明内容

根据本公开实施例的第一方面，提供一种光学谐振腔，包括：

条形波导，用于传输光信号；

环形波导，与所述条形波导并列设置，用于将所述条形波导中满足预设条件的光信号耦合至所述环形波导内，并为耦合至所述环形波导内的光信号的传输提供循环路径；其中，在沿所述循环路径传输的过程中，所述环形波导内的部分光信号耦合至所述条形波导中；

反射元件，与所述条形波导的端部连接，用于将接收的来自所述条形波导的至少部分光信号反射以形成反射光信号；

所述环形波导，还用于将所述反射光信号中满足所述预设条件的光信号耦合至所述环形波导内。

在一些实施例中，所述环形波导包括：连通的第一波导区域和第二波导区域；其中，所述第一波导区域的环宽小于所述第二波导区域的环宽，所述第一波导区域相对靠近所述条形波导；

所述第一波导区域，具体用于耦合所述条形波导中满足所述预设条件的光信号，并将来自所述第二波导区域且未耦合至所述条形波导中的光信号再次传输至所述第二波导区域；

所述第一波导区域，具体还用于将来自所述第二波导区域的部分光信号耦合至所述条形波导中。

在一些实施例中，所述反射元件用于将接收的来自所述条形波导的至少部分光信号反射以形成反射光信号，包括：

所述反射元件，用于将未耦合至所述环形波导内的至少部分光信号和从所述第一波导区域耦合至所述条形波导中的至少部分光信号反射，以形成所述反射光信号。

在一些实施例中，所述环形波导包括：外环和内环；所述内环的半径小于所述外环的半径；

所述外环的圆心与所述内环的圆心在平行于所述环形波导的平面内未重合。

在一些实施例中，所述条形波导包括：第一端部和第二端部；所述反射元件，包括：

第一子反射元件，与所述第一端部连接；

和/或，

第二子反射元件，与所述第二端部连接。

在一些实施例中，所述条形波导沿第一方向延伸；