[发明专利]晶圆传送系统

说明书

本发明涉及晶圆制造技术领域，尤其涉及一种晶圆传送系统，包括传动装置、传感检测装置、视觉检测装置和控制装置，控制装置包括运动控制器和工控机，传动装置包括携片机器人；传感检测装置用于检测携片机器人的位置，并向运动控制器发送反馈信号，视觉检测装置用于检测携片机器人的实时位置，并向工控机发送反馈信号，工控机用于接收运动控制器与视觉检测装置发送的反馈信号，并向运动控制器发送控制信号，运动控制器用于接收工控机发送的控制信号并控制携片机器人运动。直接解决运动控制过程中因遇到诸如正逆解错误，通信异常，信号干扰等问题时，晶圆传送无法及时采取智能预判，报警，停车等动作，造成高速撞车的风险、携片机器人受损的问题。

技术领域

本发明涉及晶圆制造技术领域，尤其涉及一种晶圆传送系统。

背景技术

在集成电路晶圆制造过程中，针对晶圆传送系统主要使用的是激光探测周边障碍，从而利用算法调整携带晶圆的机器人的前进方向。由于洁净机器人的运动轨迹被严格规划，运动轨迹的变更可能就会带来气流的变化，从而导致颗粒污染。同时洁净机器人制定指定到达位置要求精度高，并且与周围的限位装置、检测装置等距离严格限制，因为尽管轻微的接触，也可能在后续的例如湿法制程中产生严重的颗粒污染，从而导致晶圆的报废。

因此需要对洁净机器人的运动进行控制，一般情况下，是通过位置反馈装置例如光栅进行检测控制，但该条件下一旦出现问题就必须通过日志进行事后的分析，确定原因。如果遇到比较复杂的正逆问题，就很难准确判断根本原因。而出现正逆解问题时，会产生高速撞车的风险，存在极大的机器人受损的危险，从而导致晶圆制造产能损失及经济损失。

发明内容

本发明提供一种晶圆传送系统，用以解决现有技术中晶圆传送系统遇到比较复杂的正逆问题，很难准确判断根本原因的同时，会产生高速撞车的风险，存在极大的机器人受损的危险，从而导致晶圆制造产能损失及经济损失的缺陷，实现可以直接解决运动控制过程中因遇到正逆解错误，通信异常，信号干扰等问题时，晶圆传送无法及时采取智能预判，报警，停车等动作，造成高速撞车的风险、携片机器人受损的问题的效果。

本发明提供一种晶圆传送系统，包括传动装置、传感检测装置、视觉检测装置和控制装置，所述控制装置包括运动控制器和工控机，所述传动装置包括携片机器人；所述传感检测装置用于检测所述携片机器人的位置，并向所述运动控制器发送反馈信号，所述视觉检测装置用于检测所述携片机器人的实时位置，并向所述工控机发送反馈信号，所述工控机用于接收所述运动控制器与所述视觉检测装置发送的反馈信号，并向所述运动控制器发送控制信号，所述运动控制器用于接收所述工控机发送的控制信号并控制所述携片机器人运动。

根据本发明提供的一种晶圆传送系统，所述视觉检测装置包括图像采集器和图像处理器，所述图像采集器用于获取所述携片机器人与晶圆的图像，并向所述图像处理器发送图像信号，所述图像处理器用于处理分析所述图像采集器发送的图像信号，并向所述工控机发送反馈信号。

根据本发明提供的一种晶圆传送系统，所述图像采集器用于向所述工控机发送图像信号，所述工控机用于接收所述图像采集器发送的图像信号并记录存储。

根据本发明提供的一种晶圆传送系统，所述图像采集器包括工业相机。

根据本发明提供的一种晶圆传送系统，所述图像处理器还用于根据所述传动装置上事故发生位置进行深度学习，获得事故发生位置的事故发生概率。

根据本发明提供的一种晶圆传送系统，所述传感检测装置包括光栅和码盘。

根据本发明提供的一种晶圆传送系统，所述图像采集器至少为两个，且设置于所述传动装置的上方。

根据本发明提供的一种晶圆传送系统，所述传动装置包括第一运动工位和第二运动工位，所述图像采集器设置于所述第一运动工位和所述第二运动工位之间位置的上方。

根据本发明提供的一种晶圆传送系统，所述传动装置包括电机，所述图像采集器设置于所述电机上方。