[发明专利]晶圆传送系统

权利要求书

1.一种晶圆传送系统，其特征在于：包括传动装置、传感检测装置、视觉检测装置和控制装置，所述控制装置包括运动控制器和工控机，所述传动装置包括携片机器人；所述传感检测装置用于检测所述携片机器人的位置，并向所述运动控制器发送反馈信号，所述视觉检测装置用于检测所述携片机器人的实时位置，并向所述工控机发送反馈信号，所述工控机用于接收所述运动控制器与所述视觉检测装置发送的反馈信号，并向所述运动控制器发送控制信号，所述运动控制器用于接收所述工控机发送的控制信号并控制所述携片机器人运动；所述视觉检测装置包括图像处理器，所述图像处理器用于根据所述传动装置上事故发生位置进行深度学习，获得事故发生位置的事故发生概率。

2.根据权利要求1所述的晶圆传送系统，其特征在于：所述视觉检测装置包括图像采集器，所述图像采集器用于获取所述携片机器人与晶圆的图像，并向所述图像处理器发送图像信号，所述图像处理器用于处理分析所述图像采集器发送的图像信号，并向所述工控机发送反馈信号。

3.根据权利要求2所述的晶圆传送系统，其特征在于：所述图像采集器用于向所述工控机发送图像信号，所述工控机用于接收所述图像采集器发送的图像信号并记录存储。

4.根据权利要求2所述的晶圆传送系统，其特征在于：所述图像采集器包括工业相机。

5.根据权利要求2所述的晶圆传送系统，其特征在于：所述传感检测装置包括光栅和码盘。

6.根据权利要求2至5任一项所述的晶圆传送系统，其特征在于：所述图像采集器至少为两个，且设置于所述传动装置的上方。

7.根据权利要求6所述的晶圆传送系统，其特征在于：所述传动装置包括第一运动工位和第二运动工位，所述图像采集器设置于所述第一运动工位和所述第二运动工位之间位置的上方。

8.根据权利要求6所述的晶圆传送系统，其特征在于：所述传动装置包括电机，所述图像采集器设置于所述电机上方。