[发明专利]一种基于频域模板匹配的复杂背景图像缺陷检测方法

权利要求书

1.一种基于频域模板匹配的复杂背景图像缺陷检测方法，其特征在于：包括如下步骤：

步骤A、通过图像获取模块获取刻蚀线路的模板图像和样本图像；将模板图像和样本图像转换到频域中进行匹配，并将匹配的模板图像和样本图像的频域图像分别转换到极坐标系下筛选异常频率成分，针对样本图像中的异常频率成分进行极坐标系反变换和傅里叶逆变换获得候选区域1；

步骤B、对样本图像的频域图像进行频域显著性检测得到显著性区域，去除显著性区域内背景频率成分获得候选区域2；

步骤C、对所述候选区域1和候选区域2取交集做傅里叶逆变换，得到缺陷区域。

2.如权利要求1所述的基于频域模板匹配的复杂背景图像缺陷检测方法，其特征在于：所述步骤A中筛选异常频率成分的方法如下：

1)

其中，不等式左侧不同时为0；

2)

其中，不等式左侧不同时为0；

删除上述频率成分，对保留的频率成分进一步筛选出大小差异显著的异常部分，筛选条件如下：

其中，和分别表示大小为M×N的二维数字模板和样本图像中在极坐标系下相对中心点(M/2,N/2)距离为r方向为θ的点对应的功率，和分别表示模板图像上点在方向θ上的前后两点对应的功率，和分别表示样本图像上点在方向θ上的前后两点对应的功率，C为控制参数。

3.如权利要求1所述的基于频域模板匹配的复杂背景图像缺陷检测方法，其特征在于：所述步骤B包括：使用全局对比度作为样本图像每个像素的显著值，计算如下：

其中，I_i的取值范围为[0,255]，对应像素的灰度值；

获得每个像素的显著值后，确定适当的阈值来提取显著性区域，阈值的选取如下：

T＝μ+K*δ

其中，μ表示所有显著值的平均值，δ表示所有显著值的标准差，K为控制参数。

4.如权利要求1所述的基于频域模板匹配的复杂背景图像缺陷检测方法，其特征在于：所述步骤B包括：在频域的中心附近可设置一圆形保护区域，所述圆形保护区域内除零频分量外的其他频率分量均予以保留。