[发明专利]一种可调脉宽半导体蓝光激光器模块的实现方法有效
申请号: | 202111485210.0 | 申请日: | 2021-12-07 |
公开(公告)号: | CN114400507B | 公开(公告)日: | 2023-06-30 |
发明(设计)人: | 丛海兵;陶良泽;巩少斌 | 申请(专利权)人: | 杭州晟创激光科技有限公司 |
主分类号: | H01S5/40 | 分类号: | H01S5/40;H01S5/042;H01S5/0683;H01S5/0225;H01S5/02253;H01S5/02255;H01S5/023;H01S5/02315;B23K26/21 |
代理公司: | 杭州伍博专利代理事务所(普通合伙) 33309 | 代理人: | 沈刚 |
地址: | 311599 浙江省杭州市桐庐县桐庐经济*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 可调 半导体 激光器 模块 实现 方法 | ||
1.一种可调脉宽半导体蓝光激光器模块的实现方法,其特征是,包括子模块(3)的封装和激光器模块的整体组装,所述子模块(3)的封装包括以下步骤:
步骤一,将若干个COS蓝光半导体激光器芯片(8)等间隔的封装到热沉载体(6)上;
步骤二,将驱动电路控制板(7)和高速光电探测器PD芯片(12)安装到热沉载体(6)上,并通过金丝键合的方式实现驱动电路控制板(7)分别与COS蓝光半导体激光器芯片(8)的正负极和高速光电探测器PD芯片(12)的正负极电连接,其中驱动电路控制板(7)的基板是氮化铝陶瓷或是FR4材质的 PCB板,所述驱动电路控制板(7)具有驱动激光器的驱动电路以及带有控制各个激光器单元的脉冲同步输出自校准功能的控制电路,所述高速光电探测器PD芯片(12)可提供每路激光的反馈回波光信号;
步骤三,给驱动电路控制板(7)供电,顺序点亮每个COS蓝光半导体激光器芯片(8),通过高度探测器PD芯片(12)反馈回来的光信号,一次确定每个COS蓝光半导体激光器芯片(8)的输出光脉冲延时T,然后驱动电路控制板(7)上的脉冲同步输出自校准功能的控制电路根据反馈回来的时间T调整各个COS蓝光半导体激光器芯片(8)的脉冲输出时间,以此达到各个COS蓝光半导体激光器芯片(8)脉冲同步输出的目的;
步骤四,在热沉载体(6)上且位于COS蓝光半导体激光器芯片(8)的前方依次安装快轴准直镜(9)和慢轴准直镜(10),并保持COS蓝光半导体激光器芯片(8)、快轴准直镜(9)和慢轴准直镜(10)位于同一直线上,通过快轴准直镜(9)和慢轴准直镜(10)对COS蓝光半导体激光器芯片(8)发出的激光进行准直,以压缩发散角;
步骤五,在热沉载体(6)上且位于慢轴准直镜(10)的前方安装45°反射镜(11),以实现光束45°偏折;
所述激光器模块的整体组装包括以下步骤:
步骤a,将封装好的所有子模块(3)分成两路并通过安装阶梯的形式安装到外壳(4)上,以实现光的堆叠;
步骤b,在外壳(4)上且位于两路子模块(3)的前方依次安装偏振合束器(2)和输出镜(1),两路子模块(3)射出的激光经偏振合束器(2)合束成一路光后,再通过输出镜(1)实现激光的输出。
2.根据权利要求1所述的一种可调脉宽半导体蓝光激光器模块的实现方法,其特征是,所述偏振合束器(2)为偏振合束棱镜,用于把两个垂直入射的激光合束到一起。
3.根据权利要求1所述的一种可调脉宽半导体蓝光激光器模块的实现方法,其特征是,所述输出镜(1)可以为聚焦透镜,通过聚焦透镜聚焦实现光束的汇聚直接输出。
4.根据权利要求3所述的一种可调脉宽半导体蓝光激光器模块的实现方法,其特征是,所述聚焦透镜为非球面镜或者球面透镜组。
5.根据权利要求1所述的一种可调脉宽半导体蓝光激光器模块的实现方法,其特征是,所述输出镜(1)还可以为耦合透镜,通过耦合透镜耦合进光纤进行光纤耦合输出。
6.根据权利要求5所述的一种可调脉宽半导体蓝光激光器模块的实现方法,其特征是,所述耦合透镜为非球面透镜或者透镜组。
7.根据权利要求1所述的一种可调脉宽半导体蓝光激光器模块的实现方法,其特征是,所述热沉载体(6)的材料为无氧铜,表面通过电镀的方式镀镍金。
8.根据权利要求7所述的一种可调脉宽半导体蓝光激光器模块的实现方法,其特征是,所述热沉载体(6)的表面镀99.99%纯度的金。
9.根据权利要求1所述的一种可调脉宽半导体蓝光激光器模块的实现方法,其特征是,所述驱动电路控制板(7)具有同步输出多路激光脉冲的功能和调节激光器输出脉宽的功能,所述高速光电探测器PD芯片(12)通过提供每路激光的反馈回波光信号来作为脉冲同步的依据。
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