[发明专利]柔性显示面板及其制备方法在审
申请号: | 202111465289.0 | 申请日: | 2021-12-03 |
公开(公告)号: | CN114188498A | 公开(公告)日: | 2022-03-15 |
发明(设计)人: | 马昆松 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L21/84;H01L27/12;H01L27/32;H01L51/52 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 孟霞 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 显示 面板 及其 制备 方法 | ||
本申请提供一种柔性显示面板及其制备方法,方法包括:于载板上形成光致形变层;于光致形变层远离载板的一侧形成柔性基板;于柔性基板远离光致形变层的一侧形成发光器件层;采用预设波长的光照射光致形变层直至光致形变层发生形变而与载板分离,得到柔性显示面板。本申请通过在载板上形成光致形变层,在光致形变层上依次形成柔性基板以及发光器件层,通过光致形变层在预设波长的光照射下直至光致形变层发生形变而与载板分离,得到柔性显示面板,以提高柔性显示面板的柔性基板与载板之间的剥离良率。
技术领域
本申请涉及显示技术领域,尤其涉及一种柔性显示面板及其制备方法。
背景技术
柔性有机发光二极管显示器(Organic Light Emitting Display,OLED)由于具有轻薄以及可弯折的优势而被广泛地研究和应用,柔性基板作为柔性有机发光二极管显示器的基板,其性能是保证柔性基板上电路器件稳定性的重要因子。目前,柔性基板是通过在玻璃基板上形成a-Si牺牲层,再在a-Si牺牲层上依次形成第一有机层、第一无机层、第二有机层以及第二无机层,经过激光照射a-Si牺牲层,使得第一有机层、第一无机层、第二有机层以及第二无机层组成的叠层与玻璃基板剥离而得到,由于受激光能量稳定性的影响,在激光剥离时第一有机层从玻璃基板上剥离的良率较低。
因此,有必要提出一种技术方案以提高柔性基板从玻璃基板上剥离下拉的良率。
发明内容
本申请的目的在于提供一种柔性显示面板及其制备方法,以提高柔性显示面板的柔性基板的剥离良率。
为实现上述目的,技术方案如下:
一种柔性显示面板的制备方法,所述方法包括:
于载板上形成光致形变层;
于所述光致形变层远离所述载板的一侧形成柔性基板;
于所述柔性基板远离所述光致形变层的一侧形成发光器件层;
采用预设波长的光照射所述光致形变层直至所述光致形变层发生形变而与所述载板分离,得到所述柔性显示面板。
在上述柔性显示面板的制备方法中,于载板上形成光致形变层之后,且于所述光致形变层远离所述载板的一侧形成柔性基板之前,所述方法还包括:
采用所述预设波长的光对所述光致形变层进行预处理直至所述光致形变层粘附于所述载板上。
在上述柔性显示面板的制备方法中,经过预处理的所述光致形变层与所述载板之间的粘附力大于或等于0.01N/cm且小于或等于0.5N/cm。
在上述柔性显示面板的制备方法中,所述预设波长大于或等于300纳米且小于或等于400纳米。
在上述柔性显示面板的制备方法中,所述光致形变层包括光固化材料,和/或,所述光致形变层包括光发泡材料。
在上述柔性显示面板的制备方法中,于所述光致形变层远离所述载板的一侧形成柔性基板包括:
于所述光致形变层上形成第一无机层;
于所述第一无机层上形成有机层;
于所述有机层上形成第二无机层。
在上述柔性显示面板的制备方法中,所述采用预设波长的光照射所述光致形变层直至所述光致形变层发生形变而与所述载板分离包括:
采用所述预设波长的光从所述载板远离光致形变层的一侧照射所述光致形变层。
一种柔性显示面板,所述柔性显示面板包括:
分离层,所述分离层由光致形变层经过预设波长的光照射后发生形变而形成;
柔性基板,设置所述分离层上;以及
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉华星光电半导体显示技术有限公司,未经武汉华星光电半导体显示技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202111465289.0/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择