[发明专利]柔性显示面板及其制备方法在审
申请号: | 202111465289.0 | 申请日: | 2021-12-03 |
公开(公告)号: | CN114188498A | 公开(公告)日: | 2022-03-15 |
发明(设计)人: | 马昆松 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L21/84;H01L27/12;H01L27/32;H01L51/52 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 孟霞 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 显示 面板 及其 制备 方法 | ||
1.一种柔性显示面板的制备方法,其特征在于,所述方法包括:
于载板上形成光致形变层;
于所述光致形变层远离所述载板的一侧形成柔性基板;
于所述柔性基板远离所述光致形变层的一侧形成发光器件层;
采用预设波长的光照射所述光致形变层直至所述光致形变层发生形变而与所述载板分离,得到所述柔性显示面板。
2.根据权利要求1所述柔性显示面板的制备方法,其特征在于,于载板上形成光致形变层之后,且于所述光致形变层远离所述载板的一侧形成柔性基板之前,所述方法还包括:
采用所述预设波长的光对所述光致形变层进行预处理直至所述光致形变层粘附于所述载板上,得到预处理光致形变层。
3.根据权利要求2所述柔性显示面板的制备方法,其特征在于,所述预处理光致形变层与所述载板之间的粘附力大于或等于0.01N/cm且小于或等于0.5N/cm。
4.根据权利要求1-3任一项所述柔性显示面板的制备方法,其特征在于,所述预设波长大于或等于300纳米且小于或等于400纳米。
5.根据权利要求1-3任一项所述柔性显示面板的制备方法,其特征在于,所述光致形变层包括光固化材料,和/或,所述光致形变层包括光发泡材料。
6.根据权利要求1-3任一项所述柔性显示面板的制备方法,其特征在于,于所述光致形变层远离所述载板的一侧形成柔性基板包括:
于所述光致形变层上形成第一无机层;
于所述第一无机层上形成有机层;
于所述有机层上形成第二无机层。
7.根据权利要求1-3任一项所述柔性显示面板的制备方法,其特征在于,所述采用预设波长的光照射所述光致形变层直至所述光致形变层发生形变而与所述载板分离包括:
采用所述预设波长的光从所述载板远离光致形变层的一侧照射所述光致形变层。
8.一种柔性显示面板,其特征在于,所述柔性显示面板包括:
分离层,所述分离层由光致形变层经过预设波长的光照射后发生形变而形成;
柔性基板,设置所述分离层上;以及
发光器件层,设置于所述柔性基板远离所述分离层的一侧。
9.根据权利要求8所述的柔性显示面板,其特征在于,所述柔性显示面板还包括:
支撑层,设置于所述分离层远离所述柔性基板的一侧。
10.根据权利要求8所述的柔性显示面板,其特征在于,所述柔性基板包括:
第一无机层,设置于分离层上;
有机层,设置于所述第一无机层远离所述分离层的一侧;
第二无机层,设置于所述有机层远离所述第一无机层的一侧。
11.根据权利要求8所述的柔性显示面板,其特征在于,所述柔性显示面板还包括:
薄膜晶体管阵列层,包括多个薄膜晶体管,且设置于所述柔性基板与所述发光器件层之间。
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