[发明专利]一种Ta-Re层状复合材料及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 202111458339.2 | 申请日： | 2021-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN114574834A | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 蔡宏中;苑振涛;胡昌义;王枭;罗圆;魏燕;王献;张贵学;汪星强 | 申请（专利权）人： | 贵研铂业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/01 | 分类号： | C23C16/01;C22F1/18;C23C16/02;C23C16/14;C23C16/448;C23C16/56 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 赵琪 |
| 地址： | 650156 云南省昆*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 ta re 层状 复合材料 及其 制备 方法 应用 | ||
1.一种Ta-Re层状复合材料，其特征在于，包括层叠设置的Ta基体层和Re强化层。
2.根据权利要求1所述的Ta-Re层状复合材料，其特征在于，所述Ta-Re层状复合材料中Re强化层的体积分数为10％～50％。
3.权利要求1或2所述的Ta-Re层状复合材料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
在真空条件下，将Ta、氯气和氢气在Mo基底的表面进行第一化学气相沉积，形成Ta沉积层；
对所述Ta沉积层进行等离子刻蚀活化处理，形成Ta基体层；
在真空条件下，将Re和氯气在所述Ta基体层的表面进行第二化学气相沉积，形成Re层，然后进行Mo基底分离，得到Ta/Re复合层；
对所述Ta/Re复合层进行热处理，得到所述Ta-Re层状复合材料。
4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述第一化学气相沉积和第二化学气相沉积时氯气的流速独立地为50～80mL/min，所述第一化学气相沉积时氢气的流速为400～600mL/min。
5.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述Ta进行预热，所述预热的温度为1150～1350℃。
6.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述等离子刻蚀活化处理的功率为1～5kW，氢气流量为200～800mL/s，氩气流量为6～15mL/s，刻蚀时间为5～60min，刻蚀温度为900℃。
7.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述Ta基体层在进行第二化学气相沉积前还包括预热，所述预热的温度为1150～1350℃。
8.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述热处理温度为1400～1800℃，保温时间为1～20h。
9.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述Mo基底分离为线切割和/或化学腐蚀。
10.权利要求1或2所述的Ta-Re层状复合材料在航天发动机喷管用结构材料中的应用。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
