[发明专利]一种钙钛矿太阳能电池的柱状电极结构的制备方法

权利要求书

1.一种钙钛矿太阳能电池的柱状电极结构的制备方法，包括以下步骤：

在平面金属表面刻蚀掉预留位置外的金属材料，得到初始柱状电极结构；

在所述初始柱状电极结构表面沉积第一载流子传输层，得到柱状电极结构；

所述柱状电极结构包括金属电极芯层和并排设置在所述金属电极芯层侧面的第一载流子传输层。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第一载流子传输层与所述金属电极芯层的长度相同，或所述第一载流子传输层的高度低于所述金属电极芯层的高度。

3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述柱状电极结构中还包括与所述第一载流子传输层并排且与所述金属电极芯层接触的绝缘层；或，所述柱状电极结构中还包括与所述第一载流子传输层依次并排排列且与所述金属电极芯层接触的绝缘层、第二载流子传输层。

4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，在所述柱状电极结构中还包括与所述第一载流子传输层并排且与所述金属电极芯层接触的绝缘层时，在所述初始柱状电极结构表面沉积第一载流子传输层之后还包括：

在平面金属表面刻蚀掉预留位置外的金属材料，再沉积绝缘层。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第一载流子传输层中的半导体材料为N型半导体材料或P型半导体材料；所述N型半导体材料选自TiO₂、富勒烯、石墨烯、SnO₂和ZnO中的一种或多种；所述P型半导体材料选自NiO_x、Cu₂O、CuI、PTAA和CuSCN一种或多种。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述金属材料选自金、银、铜、铁、铝、镉、钼和钛中的一种或多种。

7.根据权利要求3或4所述的制备方法，其特征在于，所述绝缘层的材料选自SiO₂、Si₃N₄、氧化铍、氮化硼、氮化铝、氧化铝和硼酸锡钡中的一种或多种。

8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述柱状电极结构的直径为100nm～500μm，所述第一载流子传输层与绝缘层的厚度均为5nm～100nm。

9.根据权利要求1～8任一项所述的制备方法，其特征在于，所述刻蚀的方法为激光刻蚀，所述沉积的方法选自气相沉积或原子层沉积。