[发明专利]一种硅氧烷酮铝缓蚀剂及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种硅氧烷酮铝缓蚀剂，其特征在于：所述硅氧烷酮铝缓蚀剂的结构式为：

结构式中，n为1～3。

2.一种如权利要求1所述的硅氧烷酮铝缓蚀剂的制备方法，其特征在于：包括以下制备步骤：(1)将甲醇、硅烷偶联剂与无水亚硫酸氢钠混合，加入相转移催化剂苄基三乙基氯化铵，升温至回流，反应直至固体完全溶解，得到中间体的甲醇溶液；(2)将水玻璃加入到去离子水中，升温至80℃，保温2h，过滤得清澈水溶液；(3)将中间体的甲醇溶液于50℃缓慢滴入步骤(2)液体中，滴完50℃保温12h；(4)减压蒸馏脱除甲醇，加水得到浓度40％的硅氧烷酮铝缓蚀剂水溶液。

3.如权利要求2所述的硅氧烷酮铝缓蚀剂的制备方法，其特征在于：所述步骤(1)中所述硅烷偶联剂为γ-(2,3-环氧丙氧)丙基三甲氧基硅烷。

4.如权利要求3所述的硅氧烷酮铝缓蚀剂的制备方法，其特征在于：所述步骤(1)中所述中间体的结构式为：

5.如权利要求2所述的硅氧烷酮铝缓蚀剂的制备方法，其特征在于：所述步骤(1)中相转移催化剂苄基三乙基氯化铵的加入量为硅烷偶联剂与无水亚硫酸氢钠质量的0.1～0.5％。

6.如权利要求2所述的硅氧烷酮铝缓蚀剂的制备方法，其特征在于：所述步骤(2)中水玻璃为Na₂O·n SiO₂的水溶液，n为二氧化硅与氧化钠的摩尔比，n为1～3。

7.如权利要求2所述的硅氧烷酮铝缓蚀剂的制备方法，其特征在于：所述制备方法中，硅烷偶联剂、无水亚硫酸氢钠和水玻璃的摩尔比为：1:1～1.2:0.5。

8.如权利要求1所述的硅氧烷酮铝缓蚀剂，其特征在于：将所述硅氧烷酮铝缓蚀剂加入到铝材金属加工液中，作为铝缓蚀剂的应用。