[发明专利]一种高速热盘密封腔开启结构

权利要求书

1.一种高速热盘密封腔开启结构，包括工作台（1），其特征在于：所述工作台（1）上固定安装有晶圆加工箱（2），所述工作台（1）上安装有两组支撑座（5），所述支撑座（5）上固定安装有电动推杆（6），所述电动推杆（6）活塞杆一端连接有传动杆（7），所述传动杆（7）的端部通过连接件连接有遮光板（12），所述遮光板（12）上安装有第一密封圈（13），所述晶圆加工箱（2）的一侧开设有取片口（16），所述第一密封圈（13）紧密贴合在取片口（16）上，可将晶圆加工时产地的有害气体封堵在晶圆加工箱（2）内部，所述晶圆加工箱（2）上通过第一密封件（17）连接有第一抽气管（3），所述第一抽气管（3）上通过第二密封件（18）连接第二抽气管（4），所述第二密封件（18）的内部设置有过滤板（23）。

2.根据权利要求1所述的一种高速热盘密封腔开启结构，其特征在于：所述工作台（1）上安装有过渡块（8），所述过渡块（8）上开设有第一通孔（14），所述传动杆（7）插接于第一通孔（14）的内部。

3.根据权利要求1所述的一种高速热盘密封腔开启结构，其特征在于：所述连接件包括连杆活动头（9），所述连杆活动头（9）上通过定位销转动连接有连接片（10），所述连接片（10）上安装有推动杆（11），所述推动杆（11）上通过第一螺栓（15）安装有固定片，所述遮光板（12）转动安装于两组固定片之间。

4.根据权利要求1所述的一种高速热盘密封腔开启结构，其特征在于：所述第一密封件（17）固定连接于第一抽气管（3）的端部，所述第一密封件（17）通过第二螺栓（27）固定安装于工作台（1）上。

5.根据权利要求4所述的一种高速热盘密封腔开启结构，其特征在于：所述第一密封件（17）上开设有第四通孔（28），所述工作台（1）上开设有第二螺纹盲孔（29），所述第二螺栓（27）的一端穿过第四通孔（28）螺纹安装于第二螺纹盲孔（29）的内部。

6.根据权利要求5所述的一种高速热盘密封腔开启结构，其特征在于：所述第一密封件（17）的下端固定连接有第三密封圈（30），所述工作台（1）上开设有凹槽（31），所述第三密封圈（30）卡接于凹槽（31）的内部。

7.根据权利要求1所述的一种高速热盘密封腔开启结构，其特征在于：所述第二密封件（18）包括第一连接盘（21）和第二连接盘（22），所述过滤板（23）通过螺丝卡接固定于第一连接盘（21）和第二连接盘（22）的内部，所述过滤板（23）设置为活性炭过滤板，对晶圆加工时产生的有害气体起到过滤的作用。

8.根据权利要求7所述的一种高速热盘密封腔开启结构，其特征在于：所述第一连接盘（21）上开设有第三通孔（24），所述第二连接盘（22）上开设有第一螺纹盲孔（25），所述螺丝的一端穿过第三通孔（24）螺纹安装于第一螺纹盲孔（25）的内部。

9.根据权利要求8所述的一种高速热盘密封腔开启结构，其特征在于：所述第一抽气管（3）上开设有第二通孔（20），所述第二连接盘（22）的下端固定连接有第二密封圈（26），所述第二密封圈（26）插接于第二通孔（20）的内部，所述第二连接盘（22）焊接于第一抽气管（3）上。

10.根据权利要求1所述的一种高速热盘密封腔开启结构，其特征在于：所述工作台（1）上开设有出气孔，所述工作台（1）的内顶部固定安装有两组抽风机（19），所述抽风机（19）位于出气孔的下端，所述第一抽气管（3）的端部和出气孔对齐设置。

11.根据权利要求1所述的一种高速热盘密封腔开启结构，其特征在于：所述第一抽气管（3）设置为U形的抽气管，且第一抽气管（3）的边部开设有圆弧状的倒角，便于有害气体流动，所述第二抽气管（4）和第一抽气管（3）垂直安装。