[发明专利]研磨机上下定盘快速冲洗装置

说明书

本发明研磨机上下定盘快速冲洗装置，包括水箱、与水箱连接的喷淋组件、以设置于水箱上的用于连通水箱和喷淋组件的高压水泵；喷淋组件包括喷淋头，喷淋头包括用于可转动连接喷淋管的喷淋头连接管，将喷淋头置于上定盘和下定盘间，高压水泵将水箱内的水输送至喷淋头，磨片机的上定盘和下定盘转动，通过喷淋头高压出水进行高压式快速冲洗，形成恒定流量及恒定水压式高效清洗结构。

技术领域

本发明涉及半导体制备技术及制备设备，具体的，其展示一种研磨机上下定盘快速冲洗装置。

背景技术

在硅片的制备过程，包括硅片的研磨，硅片的研磨一般通过磨片机进行，硅片通过磨片机的上定盘和下定盘定位及固定后，通过研磨组件完成磨片做业，研磨机持续的进行硅片研磨做业，磨片机的上定盘和下定盘在进行长时间的硅片磨片加工后，在流砂盘槽内会堆积大量的砂浆，现阶段采用人工方式进行砂浆的清理，人工清理方式中人员在清理这些盘槽内的砂浆时占用时间较长，且清理的效果不佳。

设计一种可快速清理砂浆的装置，以快速进行盘槽内的砂浆的清理，可减少人力资源的占用，同时保证清理效果。

因此，有必要提供一种研磨机上下定盘快速冲洗装置来实现上述目的。

发明内容

本发明的目的是提供一种研磨机上下定盘快速冲洗装置。

技术方案如下：

一种研磨机上下定盘快速冲洗装置，包括水箱、与水箱连接的喷淋组件、以设置于水箱上的用于连通水箱和喷淋组件的高压水泵；

喷淋组件包括喷淋头，喷淋头包括用于可转动连接喷淋管的喷淋头连接管，将喷淋头置于上定盘和下定盘间，高压水泵将水箱内的水输送至喷淋头，磨片机的上定盘和下定盘转动，通过喷淋头高压出水进行高压式快速冲洗，形成恒定流量及恒定水压式高效清洗结构。

进一步的，喷淋头还包括用于设置喷淋头连接管的喷淋头主体，喷淋头主体的上下两端面均设置有喷淋水出口。

进一步的，喷淋管包括用于连接喷淋头连接管的连接管A，连接管A可伸缩连接于连接管B，连接管B连接于连接管C，连接管C可伸缩连接于连接管D。

进一步的，连接管B上对应连接管A设置有固定件A。

进一步的，连接管D上对应连接管A设置有固定件C。

进一步的，连接管B包括用于连接连接管A的横管、用于连接连接管C的立管。

进一步的，横管和立管垂直连接，且连接处设置有加强板。

进一步的，水箱包括箱体，箱体下侧设置有脚轮，且箱体上还设置有推动把手。

进一步的，喷淋组件和水箱连接处设置有加强角板。

与现有即使相比，本发明能够快速的进行盘槽内的砂浆的冲洗，减少人力资源的占用，提高清洗效率同时保证清洗质量。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

具体实施方式

实施例：

参阅图1，本实施例展示一种研磨机上下定盘快速冲洗装置，包括水箱1、与水箱1连接的喷淋组件、以设置于水箱1上的用于连通水箱和喷淋组件的高压水泵；

喷淋组件1包括喷淋头7，喷淋头7包括用于可转动连接喷淋管的喷淋头连接管72，将喷淋头7置于上定盘和下定盘间，高压水泵将水箱1内的水输送至喷淋头7，磨片机的上定盘和下定盘转动，通过喷淋头7高压出水进行高压式快速冲洗，形成恒定流量及恒定水压式高效清洗结构。

喷淋头7还包括用于设置喷淋头连接管72的喷淋头主体71，喷淋头主体71的上下两端面均设置有喷淋水出口73。