[发明专利]研磨机上下定盘快速冲洗装置在审
申请号: | 202111363815.2 | 申请日: | 2021-11-17 |
公开(公告)号: | CN114247680A | 公开(公告)日: | 2022-03-29 |
发明(设计)人: | 冯炜;蒋晓庚;黄盛军;菅明辉;孙晨光;王彦君 | 申请(专利权)人: | 中环领先半导体材料有限公司 |
主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02 |
代理公司: | 北京鑫知翼知识产权代理事务所(普通合伙) 11984 | 代理人: | 孙长江 |
地址: | 214000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 研磨机 下定 快速 冲洗 装置 | ||
1.一种研磨机上下定盘快速冲洗装置,其特征在于:包括水箱、与水箱连接的喷淋组件、以设置于水箱上的用于连通水箱和喷淋组件的高压水泵;
喷淋组件包括喷淋头,喷淋头包括用于可转动连接喷淋管的喷淋头连接管,将喷淋头置于上定盘和下定盘间,高压水泵将水箱内的水输送至喷淋头,磨片机的上定盘和下定盘转动,通过喷淋头高压出水进行高压式快速冲洗,形成恒定流量及恒定水压式高效清洗结构。
2.根据权利要求1所述的一种研磨机上下定盘快速冲洗装置,其特征在于:喷淋头还包括用于设置喷淋头连接管的喷淋头主体,喷淋头主体的上下两端面均设置有喷淋水出口。
3.根据权利要求2所述的一种研磨机上下定盘快速冲洗装置,其特征在于:喷淋管包括用于连接喷淋头连接管的连接管A,连接管A可伸缩连接于连接管B,连接管B连接于连接管C,连接管C可伸缩连接于连接管D。
4.根据权利要求3所述的一种研磨机上下定盘快速冲洗装置,其特征在于:连接管B上对应连接管A设置有固定件A。
5.根据权利要求4所述的一种研磨机上下定盘快速冲洗装置,其特征在于:连接管D上对应连接管A设置有固定件C。
6.根据权利要求5所述的一种研磨机上下定盘快速冲洗装置,其特征在于:连接管B包括用于连接连接管A的横管、用于连接连接管C的立管。
7.根据权利要求6所述的一种研磨机上下定盘快速冲洗装置,其特征在于:横管和立管垂直连接,且连接处设置有加强板。
8.根据权利要求7所述的一种研磨机上下定盘快速冲洗装置,其特征在于:水箱包括箱体,箱体下侧设置有脚轮,且箱体上还设置有推动把手。
9.根据权利要求8所述的一种研磨机上下定盘快速冲洗装置,其特征在于:喷淋组件和水箱连接处设置有加强角板。
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