[发明专利]一种制备梯度纳米结构材料透射电镜样品的装置和方法

权利要求书

1.一种制备梯度纳米结构材料透射电镜样品的装置和方法，其特征在于，所述的装置为用于透射电镜样品制备的三角平衡研磨台装置，主要包括精密千分尺5、6，千分尺支撑脚7、8，液泡水平仪9，楔形圆柱固定器10以及带有3°坡度的楔形圆柱1；所述方法包括制备楔形样品、离子减薄制备楔形梯度纳米结构材料透射电镜样品。

2.根据权利要求1所述的三脚平衡研磨台装置，精密千分尺5、6为三角分布形态，5为两个平行的精密千分尺，7为两个平行的千分尺支撑脚。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，精密千分尺、千分尺支撑脚以及粘有样品的楔形圆柱之间利用液泡水平仪确保在研磨过后保持水平关系，以保证样品减薄厚度的准确性。

4.根据权利要求1所述的一种制备梯度纳米结构材料透射电镜样品的方法，其具体步骤如下：

步骤1：利用普通机械切割、研磨的方法先制备宽1mm、长1.5mm、厚80～100μm的样品，其中宽1mm的方向为梯度组织方向，保证将样品梯度组织方向的前端水平地粘在斜坡面与水平面的交线区域。

步骤2:将粘有梯度纳米结构样品的楔形圆柱体固定在三脚平衡研磨台的卡具上，通过调节三脚平衡研磨台的千分尺高度，使研磨台与粘有样品的圆柱面保持同一水平高度；按照厚度需求调节千分尺高度，并往复研磨圆柱体上的试样，使得千分尺支撑脚与粘有样品的圆柱面继续保持水平。多次重复调节和研磨，最终保证样品最薄处的厚度在20-25μm之间。

步骤3：将具有厚度差异的楔形样品粘在单孔铜环上，通过制备常规样品的离子减薄参数+光学显微镜观察的方式，在梯度组织方向上进行大范围的离子减薄，从而获得可供透射电镜观察的透射电镜样品。

5.根据权利要求4所示的工艺，其特征在于，所述样品为旋转加速喷丸处理后的CoCrNi梯度纳米结构材料，离子减薄工艺选其使用的参数。