[发明专利]一种防腐蚀的芯片夹具在审

专利信息
申请号: 202111304903.5 申请日: 2021-11-05
公开(公告)号: CN114141688A 公开(公告)日: 2022-03-04
发明(设计)人: 陈春明;谈勇;屈显波;蒋华 申请(专利权)人: 桂林芯飞光电子科技有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/67;H01L33/00
代理公司: 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 代理人: 石燕妮
地址: 541000 广西壮族自治区桂林*** 国省代码: 广西;45
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摘要:
搜索关键词: 一种 腐蚀 芯片 夹具
【权利要求书】:

1.一种防腐蚀的芯片夹具,其特征在于,包括夹持机构和清洗机构;

所述清洗机构包括水箱、两个滑块、两个升降组件、安装架、输送泵、连接管、输送管、若干喷头和箱盖,所述水箱具有两个滑槽,两个所述滑块分别与所述水箱滑动连接,均位于所述滑槽内,两个所述升降组件的一侧分别与两个所述滑块固定连接,两个所述升降组件的另一侧分别与所述水箱固定连接,均位于所述滑块与所述水箱之间,所述安装架与两个所述滑块固定连接,并位于两个所述滑块之间,所述输送泵与所述安装架固定连接,并位于所述安装架的一侧,所述连接管与所述输送泵固定连接,并位于远离所述安装架的一侧,所述输送管与所述输送泵固定连接,并位于所述安装架内,若干所述喷头分别与所述输送管固定连接,均贯穿所述安装架,所述箱盖与所述水箱拆卸连接,并位于所述水箱顶部;

所述夹持机构包括手柄、卡槽和若干固定件,所述手柄与所述箱盖固定连接,并贯穿所述箱盖,所述卡槽与所述手柄固定连接,并位于所述水箱内,若干所述固定件分别与所述卡槽转动连接,均位于所述卡槽外侧壁。

2.如权利要求1所述的防腐蚀的芯片夹具,其特征在于,

所述清洗机构还包括两个把手,两个所述把手分别与所述水箱固定连接,均位于所述水箱外侧壁。

3.如权利要求1所述的防腐蚀的芯片夹具,其特征在于,

所述清洗机构还包括四个站脚,四个所述站脚分别与所述水箱固定连接,均位于所述水箱底部。

4.如权利要求3所述的防腐蚀的芯片夹具,其特征在于,

所述清洗机构还包括四个摩擦垫,四个所述摩擦垫分别与四个所述站脚固定连接,均位于远离所述水箱的一侧。

5.如权利要求1所述的防腐蚀的芯片夹具,其特征在于,

所述清洗机构还包括排污管、第一电磁阀、进水管和第二电磁阀,所述排污管与所述水箱固定连接,并贯穿所述水箱,所述第一电磁阀与所述排污管固定连接,并位于远离所述水箱的一侧,所述进水管与所述水箱固定连接,并贯穿所述水箱,所述第二电磁阀与所述进水管固定连接,并位于远离所述水箱的一侧。

6.如权利要求1所述的防腐蚀的芯片夹具,其特征在于,

所述清洗机构还包括红外传感器,所述红外传感器与所述水箱固定连接,并位于靠近所述箱盖的一侧。

7.如权利要求1所述的防腐蚀的芯片夹具,其特征在于,

所述夹持机构还包括挡块,所述挡块与所述手柄固定连接,并位于所述手柄外侧壁。

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