[发明专利]一种防腐蚀的芯片夹具在审
申请号: | 202111304903.5 | 申请日: | 2021-11-05 |
公开(公告)号: | CN114141688A | 公开(公告)日: | 2022-03-04 |
发明(设计)人: | 陈春明;谈勇;屈显波;蒋华 | 申请(专利权)人: | 桂林芯飞光电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/67;H01L33/00 |
代理公司: | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人: | 石燕妮 |
地址: | 541000 广西壮族自治区桂林*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 腐蚀 芯片 夹具 | ||
1.一种防腐蚀的芯片夹具,其特征在于,包括夹持机构和清洗机构;
所述清洗机构包括水箱、两个滑块、两个升降组件、安装架、输送泵、连接管、输送管、若干喷头和箱盖,所述水箱具有两个滑槽,两个所述滑块分别与所述水箱滑动连接,均位于所述滑槽内,两个所述升降组件的一侧分别与两个所述滑块固定连接,两个所述升降组件的另一侧分别与所述水箱固定连接,均位于所述滑块与所述水箱之间,所述安装架与两个所述滑块固定连接,并位于两个所述滑块之间,所述输送泵与所述安装架固定连接,并位于所述安装架的一侧,所述连接管与所述输送泵固定连接,并位于远离所述安装架的一侧,所述输送管与所述输送泵固定连接,并位于所述安装架内,若干所述喷头分别与所述输送管固定连接,均贯穿所述安装架,所述箱盖与所述水箱拆卸连接,并位于所述水箱顶部;
所述夹持机构包括手柄、卡槽和若干固定件,所述手柄与所述箱盖固定连接,并贯穿所述箱盖,所述卡槽与所述手柄固定连接,并位于所述水箱内,若干所述固定件分别与所述卡槽转动连接,均位于所述卡槽外侧壁。
2.如权利要求1所述的防腐蚀的芯片夹具,其特征在于,
所述清洗机构还包括两个把手,两个所述把手分别与所述水箱固定连接,均位于所述水箱外侧壁。
3.如权利要求1所述的防腐蚀的芯片夹具,其特征在于,
所述清洗机构还包括四个站脚,四个所述站脚分别与所述水箱固定连接,均位于所述水箱底部。
4.如权利要求3所述的防腐蚀的芯片夹具,其特征在于,
所述清洗机构还包括四个摩擦垫,四个所述摩擦垫分别与四个所述站脚固定连接,均位于远离所述水箱的一侧。
5.如权利要求1所述的防腐蚀的芯片夹具,其特征在于,
所述清洗机构还包括排污管、第一电磁阀、进水管和第二电磁阀,所述排污管与所述水箱固定连接,并贯穿所述水箱,所述第一电磁阀与所述排污管固定连接,并位于远离所述水箱的一侧,所述进水管与所述水箱固定连接,并贯穿所述水箱,所述第二电磁阀与所述进水管固定连接,并位于远离所述水箱的一侧。
6.如权利要求1所述的防腐蚀的芯片夹具,其特征在于,
所述清洗机构还包括红外传感器,所述红外传感器与所述水箱固定连接,并位于靠近所述箱盖的一侧。
7.如权利要求1所述的防腐蚀的芯片夹具,其特征在于,
所述夹持机构还包括挡块,所述挡块与所述手柄固定连接,并位于所述手柄外侧壁。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造