[发明专利]一种用于芯片精密贴装的吸附装置及机械臂在审

专利信息
申请号: 202111284827.6 申请日: 2021-11-01
公开(公告)号: CN114188262A 公开(公告)日: 2022-03-15
发明(设计)人: 阮景能;谭书伟;尹华林;刘欢 申请(专利权)人: 武汉光迅科技股份有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683
代理公司: 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 代理人: 崔晓岚;张颖玲
地址: 430074 湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 芯片 精密 吸附 装置 机械
【权利要求书】:

1.一种用于芯片精密贴装的吸附装置,其特征在于,包括:

外支座(1);

止震挡片(2),所述止震挡片(2)固定在所述外支座(1)上;

运动组件(3),所述运动组件(3)包括固定部(31)以及运动部(32)、所述固定部(31)与所述外支座(1)固定连接;所述运动部(32)配置为能够相对于所述固定部(31)往复运动;

限位部(81);所述限位部(81)与所述运动部(32)保持相对固定;

吸附嘴(4)、所述吸附嘴(4)设置在所述运动部(32)的前端(321);

第一弹性件(82),所述第一弹性件(82)配置为向所述运动部(32)施加第一作用力;

以及第二弹性件(83),所述第二弹性件(83)配置为向所述运动部(32)施加第二作用力;所述第一作用力与所述第二作用力的方向相反;

所述第一作用力与所述第二作用力的合力能够驱使所述运动部(32)沿正方向移动,所述正方向定义为所述吸附嘴(4)靠近芯片的方向;所述止震挡片(2)能够与所述限位部(81)抵触以限制所述运动部(32)沿正方向移动;

当所述止震挡片(2)与所述限位部(81)抵触,所述吸附嘴(4)能够吸附芯片。

2.根据权利要求1所述的吸附装置,其特征在于,所述运动组件(3)为滚珠衬套组件,所述固定部(31)为滚珠衬套组件的外壳,所述运动部(32)为具有贯穿孔(322)的中空轴,所述固定部(31)所述吸附嘴(4)具有一贯通的吸气通道(42),所述吸气通道(42)的一端与所述贯穿孔(322)连通,所述吸气通道(42)的另一端能够吸附所述芯片。

3.根据权利要求2所述的吸附装置,其特征在于,所述运动部(32)的轴线穿过所述第一弹性件(82)与所述第二弹性件(83)。

4.根据权利要求3所述的吸附装置,其特征在于,所述第一弹性件(82)设置在所述前端(321)上,所述第二弹性件(83)设置在所述运动部(32)的远离所述吸附嘴(4)的后端(323)上。

5.根据权利要求4所述的吸附装置,其特征在于,所述吸附嘴(4)包括挡板(41);

所述第一弹性件(82)套设在所述前端(321)上,所述第一弹性件(82)的两端分别与所述挡板(41)、所述外支座(1)的底端抵触连接。

6.根据权利要求4所述的吸附装置,其特征在于,所述运动组件(3)包括联接头(37),所述联接头(37)可拆卸地设置在所述后端(323);

所述第二弹性件(83)套设在所述后端(323)上,所述第二弹性件(83)的两端分别与所述联接头(37)、所述外支座(1)的顶端抵触连接。

7.根据权利要求6所述的吸附装置,其特征在于,所述限位部(81)固定在所述联接头(37)的侧面,所述止震挡片(2)包括一体连接的固定片(21)以及止震片(22),所述固定片(21)与所述止震片(22)垂直设置,所述固定片(21)可拆卸地固定在所述外支座(1)的侧面,所述止震片(22)垂直于所述运动部(32)的轴线并延伸到所述限位部(81)的下方。

8.根据权利要求1至7任一项所述的吸附装置,其特征在于,所述吸附装置包括防转结构(5),所述防转结构(5)用于限制所述固定部(31)与所述运动部(32)发生相对转动。

9.根据权利要求8所述的吸附装置,其特征在于,所述防转结构(5)为与所述固定部(31)相对固定的定位柱,所述限位部(81)上形成有定位槽(811),所述防转结构(5)穿设在所述定位槽(811)中,以限制所述固定部(31)与所述运动部(32)发生相对转动。

10.根据权利要求1至7任一项所述的吸附装置,其特征在于,所述第一弹性件(82)为弹簧;和/或,所述第二弹性件(83)为弹簧。

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