[发明专利]一种用于装饰镀膜的碳化钨靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种用于装饰镀膜的碳化钨靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：

(1)筛分纯度≥99.98％的碳化钨原料，得到碳化钨粉末；

(2)将步骤(1)所得碳化钨粉末进行烧结温度为1800-1900℃，压制压力为35-45MPa的真空热压烧结处理，得到碳化钨靶坯；

(3)将步骤(2)所得碳化钨靶坯进行机加工，得到碳化钨靶材；

其中，步骤(2)所述真空热压烧结处理包括依次进行的装模、抽真空、升温、保温处理、加压、保温保压处理、撤压与冷却，且所述保温处理的升温过程分为3个升温阶段，即依次进行的第一升温阶段、第二升温阶段和第三升温阶段；

所述第一升温阶段的升温速率为8-12℃/min，目标温度为900-1100℃；所述第二升温阶段的升温速率为4-6℃/min，目标温度为1450-1550℃；所述第三升温阶段的升温速率为2-4℃/min，目标温度为1800-1900℃；所述保温处理的时间为80-100min；

所述加压的速率为0.4-0.6MPa/min，目标压力为35-45MPa；所述保温保压处理的时间为80-100min。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述碳化钨粉末的平均粒径≤5μm。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述装模具体为：将碳化钨粉末装入石墨模具中并进行压实，保证装模后平面度≤0.5mm。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述抽真空具体为：将石墨模具放入真空烧结炉中，抽真空至炉内绝对压力≤100Pa。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述撤压具体为：向真空烧结炉中充入氮气和/或氩气至炉内绝对压力为0.02-0.04MPa。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述冷却具体为：待模具随炉冷却至温度≤200℃，取出模具并晾至室温。

7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(3)所述机加工包括依次进行的磨平、切割、精加工、表面处理、清洗、干燥与包装。

8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述磨平在平面磨床上进行，且采用的磨床砂轮规格为60-100目。

9.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述磨平达到的平面度≤0.05mm。

10.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述磨平的每步下刀量≤0.05mm。

11.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述切割在线切割机上进行。

12.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述精加工在铣床上进行，且采用的圆柱磨头规格为300-500目。

13.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述精加工的每步进刀量≤0.05mm。

14.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述表面处理包括依次进行的打磨与抛光。