[发明专利]吸盘装置及具有其的基板处理设备

权利要求书

1.一种吸盘装置，其特征在于，包括：

第一平移组件；

至少两个第二平移组件，至少两个所述第二平移组件设置于所述第一平移组件上且在所述第一平移组件的驱动下可沿第一方向移动；

至少四个吸盘组件，至少四个吸盘组件两两设置于至少两个所述第二平移组件，设置于所述第二平移组件上的两个所述吸盘组件在所述第二平移组件的驱动下沿第二方向相向或相背移动，所述第二方向与所述第一方向垂直。

2.根据权利要求1所述的吸盘装置，其特征在于，所述第一平移组件包括：

第一底座；

至少两个第一丝杠，至少两个所述第一丝杠可转动地设置于所述第一底座，至少两个所述第一丝杠沿所述第一方向延伸且沿第二方向排布；

至少两个第一操纵件，至少两个所述第一操纵件分别设置于至少两个所述第一丝杠的端部；

至少两个所述第一平移板，至少两个所述第一平移板分别螺纹配合在至少两个所述第一丝杠上，至少两个所述第一平移板与至少两个所述第二平移组件一一对应设置。

3.根据权利要求2所述的吸盘装置，其特征在于，所述第一平移组件还包括：至少两个第一数字位置显示器，至少两个所述第一数字位置显示器分别设置于至少两个所述第一丝杠的端部，以记录显示所述第一丝杠的旋转圈数。

4.根据权利要求2所述的吸盘装置，其特征在于，所述第一平移组件还包括：至少两个第一锁止件，至少两个所述第一锁止件分别设置于至少两个所述第一丝杠的端部，以通过锁止所述第一丝杠的方式锁止所述第一平移板和所述第二平移组件。

5.根据权利要求2所述的吸盘装置，其特征在于，所述第一平移组件还包括：至少一个第一导向杆，至少一个所述第一导向杆设置于所述第一底座，至少两个所述第一平移板均可移动地设置于至少一个所述第一导向杆。

6.根据权利要求2所述的吸盘装置，其特征在于，所述第二平移组件包括：

第二底座，所述第二底座设置于所述第一平移板上；

第二丝杠，所述第二丝杠可转动地设置于所述第二底座，所述第二丝杠沿所述第二方向延伸且设置有旋向相反的外螺纹；

第二操纵件，所述第二操纵件设置于所述第二丝杠的端部；

两个所述第二平移板，所述第二平移板分别螺纹配合在所述第二丝杠旋向相反的外螺纹上，至少两个两个所述第二平移板与两个吸盘组件一一对应设置。

7.根据权利要求6所述的吸盘装置，其特征在于，所述第二平移组件还包括：第二数字位置显示器，所述第二数字位置显示器设置于所述第二丝杠的端部，以记录显示所述第二丝杠的旋转圈数。

8.根据权利要求6所述的吸盘装置，其特征在于，所述第二平移组件还包括：第二锁止件，所述第二锁止件分别设置于所述第二丝杠的端部，以通过锁止所述第二丝杠的方式锁止所述第二平移板和所述第二平移组件。

9.根据权利要求6所述的吸盘装置，其特征在于，所述第二平移组件还包括：至少一个第二导向杆，至少一个所述第二导向杆设置于所述第二底座，所述第二平移板均可移动地设置于至少一个所述第二导向杆。

10.根据权利要求6所述的吸盘装置，其特征在于，所述第一操纵件和所述第二操纵件均为波纹手轮。

11.根据权利要求6所述的吸盘装置，其特征在于，所述吸盘组件包括：第三底座和多个吸盘，所述第三底座设置于所述第二平移板上，多个所述吸盘分布在所述第三底座上。

12.一种基板处理设备，其特征在于，包括：权利要求1-11中任一项所述的吸盘装置。