[发明专利]用于抑制铜面化学镀渗镀的预浸液及其制备方法和应用在审
申请号: | 202111004311.1 | 申请日: | 2021-08-30 |
公开(公告)号: | CN113737159A | 公开(公告)日: | 2021-12-03 |
发明(设计)人: | 黄憬韬;黎小芳;李小兵;陈光辉;李伦 | 申请(专利权)人: | 广东东硕科技有限公司;广东光华科技股份有限公司;光华科学技术研究院(广东)有限公司 |
主分类号: | C23C18/18 | 分类号: | C23C18/18;C23C18/32;C23C18/42;H05K3/18 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 黎金娣 |
地址: | 510550 广东省广州*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 抑制 化学 镀渗镀 浸液 及其 制备 方法 应用 | ||
1.一种用于抑制铜面化学镀渗镀的预浸液,其特征在于,每升所述预浸液包括水,5g~100g的酸性试剂,及0.05g~5g的预浸添加剂;
所述酸性试剂为硫酸和/或盐酸;
所述预浸添加剂为含氮芳杂环类化合物、脂肪族含氮羧酸类化合物、含硫脂肪酸类化合物、有机胺类化合物中的至少一种。
2.根据权利要求1所述的用于抑制铜面化学镀渗镀的预浸液,其特征在于,每升所述预浸液包括水,5g~60g的酸性试剂,及0.05g~3g的预浸添加剂。
3.根据权利要求1所述的用于抑制铜面化学镀渗镀的预浸液,其特征在于,所述预浸添加剂为含氮芳杂环类化合物和脂肪族含氮羧酸类化合物的混合物;或
所述预浸添加剂为有机胺类化合物;或
所述预浸添加剂为含氮芳杂环类化合物和有机胺类化合物的混合物;或
所述预浸添加剂为脂肪族含氮羧酸类化合物和有机胺类化合物的混合物。
4.根据权利要求1至3任一项所述的用于抑制铜面化学镀渗镀的预浸液,其特征在于,所述含氮芳杂环类化合物选自吡啶、羟基丙烷磺酸吡啶嗡盐、咪唑、1-(2-羟乙基)咪唑、1-乙基-3-甲基咪唑甲磺酸盐、喹啉、嘧啶和三氮唑中的至少一种;和/或
所述脂肪族含氮羧酸类化合物选自N-羟乙基乙二胺三乙酸三钠、乙二胺四乙酸三钠盐和氨基酸类化合物中的至少一种;和/或
所述含硫脂肪酸类化合物选自巯基乙酸、二甲基二硫代氨基甲酸钠、硫代乙醇酸、硫代水杨酸、2-巯基乙醇、甲硫氨酸、3-巯基丙酸和2-巯基苯并噻唑中的至少一种;和/或
所述有机胺类化合物选自脂肪胺类、醇胺类和芳香胺类化合物中的至少一种。
5.根据权利要求4所述的用于抑制铜面化学镀渗镀的预浸液,其特征在于,所述氨基酸类化合物选自甘氨酸、丙氨酸、谷氨酸、L-半胱氨酸和乙酰半胱氨酸中的至少一种;和/或
所述脂肪胺类化合物选自聚乙烯亚胺、二亚乙基三胺、1,4-丁二胺、二乙胺和三乙胺中的至少一种;和/或
所述醇胺类化合物选自三乙醇胺和N-N二甲基乙醇胺中的至少一种;和/或
所述芳香胺类化合物选自苯胺、邻甲苯胺和N-甲基苯胺中的至少一种。
6.根据权利要求1所述的用于抑制铜面化学镀渗镀的预浸液,其特征在于,每升所述预浸液包括水,5g~60g的硫酸,0.5g~1g的1-(2-羟乙基)的咪唑,及0.5g~1g的乙酰半胱氨酸;或
每升所述预浸液包括水,5g~60g的硫酸,及0.5g~1g的N-羟乙基乙二胺三乙酸三钠;或
每升所述预浸液包括水,5g~60g的硫酸,及0.05g~0.5g的聚乙烯亚胺;或
每升所述预浸液包括水,20g~50g的盐酸,及0.5g~1g的甘氨酸;或
每升所述预浸液包括水,20g~50g的盐酸,及1g~5g的1,4-丁二胺;或
每升所述预浸液包括水,10g~20g的硫酸,0.5g~1g的1-乙基-3-甲基咪唑甲磺酸盐,及0.05g~0.5g的L-半胱氨酸;或
每升所述预浸液包括水,50g~100g的硫酸,0.5g~1g的羟基丙烷磺酸吡啶嗡盐,及0.5g~1g的乙酰半胱氨酸;或
每升所述预浸液包括水,5g~10g的盐酸,及1g~2g的3-巯基丙酸;或
每升所述预浸液包括水,5g~20g的硫酸,0.5g~1g的乙二胺四乙酸三钠盐,及0.5g~1g的聚乙烯亚胺;或
每升所述预浸液包括水,10g~20g的盐酸,0.5g~1g的羟基丙烷磺酸吡啶嗡盐,及1g~2g的二亚乙基三胺;或
每升所述预浸液包括水,10g~20g的盐酸,1g~2g的N-羟乙基乙二胺三乙酸三钠,及0.5g~1g的聚乙烯亚胺;或
每升所述预浸液包括水,10g~20g的硫酸,1g~2g的1-(2-羟乙基)咪唑,及0.5g~1g的1,4-丁二胺。
7.权利要求1至6任一项所述的用于抑制铜面化学镀渗镀的预浸液的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
将所述的水、所述的酸性试剂与所述的预浸添加剂混合。
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