[发明专利]一种可进行多样化测试的晶圆测试装置

权利要求书

1.一种可进行多样化测试的晶圆测试装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)上安装有移动组件(2)且所述移动组件(2)上从左至右依次安装有用于上料的第一搬运组件(4)、用于检测电学参数的探针检测组件(3)和用于下料的第二搬运组件(8)，所述第一搬运组件(4)、探针检测组件(3)和第二搬运组件(8)可在移动组件(2)上移动，所述工作台(1)上安装与两组呈直线排列的圆盘(5)且两组所述圆盘(5)上均呈圆周分布有若干组用于放置晶圆的载物台(6)，所述工作台(1)的下端安装有用于收纳圆晶的收纳桶(7)且所述收纳桶(7)的上端设有收纳开口，所述第一搬运组件(4)、探针检测组件(3)和第二搬运组件(8)分别位于左侧设置的圆盘(5)、右侧设置的圆盘(5)和收纳桶(7)的正上方。

2.根据权利要求1所述的一种可进行多样化测试的晶圆测试装置，其特征在于：所述移动组件(2)包括呈对称设置的两组竖板(21)，两组所述竖板(21)之间从上至下依次设有三组横板(23)且三组所述横板(23)的下端均安装有电动滑轨(22)，三组所述电动滑轨(22)上均安装有滑块(24)。

3.根据权利要求1所述的一种可进行多样化测试的晶圆测试装置，其特征在于：所述第一搬运组件(4)和第二搬运组件(8)的结构相同，所述第一搬运组件(4)包括回型架(41)，所述回型架(41)与滑块(24)固定连接，所述回型架(41)的下端安装有第一电动伸缩杆(43)且所述第一电动伸缩杆(43)的下端安装有第一圆板(44)且所述第一圆板(44)的下端安装有呈圆周分布的若干组吸盘(45)，所述第一圆板(44)的上端安装有泵体(42)和出气管(46)且所述出气管(46)上安装有电动阀门，所述泵体(42)的出气端和若干组所述吸盘(45)的气流通道均与第一圆板(44)的内腔相通。

4.根据权利要求2所述的一种可进行多样化测试的晶圆测试装置，其特征在于：所述泵体(42)的进气管道的内腔安装有过滤网。

5.根据权利要求1所述的一种可进行多样化测试的晶圆测试装置，其特征在于：所述探针检测组件(3)包括第二电动伸缩杆(31)，所述第二电动伸缩杆(31)的下端安装有第二圆板(32)，所述第二圆板(32)的下端呈圆周分布有若干组探测针(33)。

6.根据权利要求5所述的一种可进行多样化测试的晶圆测试装置，其特征在于：所述第二圆板(32)的下端呈圆周分布有若干组发射出可集中照射到晶圆上的可见光的光源(34)且若干组所述光源(34)与若干组所述探测针(33)一一对应。

7.根据权利要求5所述的一种可进行多样化测试的晶圆测试装置，其特征在于：所述第二圆板(32)上安装有圆筒(11)且所述圆筒(11)的内腔安装有缓冲弹簧(10)，所述第二电动伸缩杆(31)的输出端位于圆筒(11)的内腔并与缓冲弹簧(10)抵触。

8.根据权利要求3所述的一种可进行多样化测试的晶圆测试装置，其特征在于：两组所述第一回型架(41)的下端均位于探测针(33)的下方，所述所述第一回型架(41)的横向宽度大于第二圆板(32)的直径，所述第二圆板(32)可自由穿过回型架(41)。

9.根据权利要求1-8中任意一项所述的一种可进行多样化测试的晶圆测试装置，其特征在于：所述移动组件(2)、第一搬运组件(4)、探针检测组件(3)和第二搬运组件(8)均与安装在工作台(1)上的可编程的PLC控制器(9)电性连接。