[发明专利]显示装置在审
申请号: | 202110941875.1 | 申请日: | 2021-08-17 |
公开(公告)号: | CN114203762A | 公开(公告)日: | 2022-03-18 |
发明(设计)人: | 赵宰卨;柳春基 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/52 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 梁洪源;康泉 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示装置 | ||
一种显示装置包括:包括显示区域和焊盘区域的基板、下电极、发光层、在发光层上的上电极以及在焊盘区域中的焊盘电极。下电极在所述显示区域中,下电极包括第一电极、第二电极和第三电极。第一电极相对于蚀刻工艺具有第一蚀刻速率。第二电极在第一电极上。第二电极相对于蚀刻工艺具有高于第一蚀刻速率的第二蚀刻速率。第三电极在第二电极上。第三电极相对于蚀刻工艺具有低于第二蚀刻速率且高于第一蚀刻速率的第三蚀刻速率。发光层在下电极上。
技术领域
实施例总体上涉及显示装置以及制造显示装置的方法。更具体地,本公开的实施例涉及包括焊盘电极的显示装置以及制造包括焊盘电极的显示装置的方法。
背景技术
平板显示装置由于其重量轻和薄的特性而用作用于替代阴极射线管显示装置的显示装置。作为这类平板显示装置的代表性示例,存在液晶显示装置和有机发光二极管显示装置。
显示装置可以包括其中布置像素结构(例如,下电极、发光层和上电极)的显示区域以及其中布置焊盘电极的焊盘区域。在这种情况下,像素结构可以发光,以在显示装置的顶表面上显示图像,并且焊盘电极可以电连接到被配置为生成提供到像素结构的图像信号的外部装置。在形成显示装置的下电极的工艺中,在遍及整个基板形成初步电极层之后,下电极可以通过湿法蚀刻工艺形成。在该工艺中,初步电极层可以被布置在焊盘电极上,并且焊盘电极可能在蚀刻布置在焊盘电极上的初步电极层的工艺期间被损坏。
发明内容
一个或多个实施例的方面针对一种包括焊盘电极的显示装置。
一个或多个实施例的方面针对一种制造包括焊盘电极的显示装置的方法。
根据一些实施例,一种显示装置,包括:基板、下电极、发光层、上电极以及焊盘电极。基板包括显示区域和焊盘区域。下电极在显示区域中、基板上,下电极包括第一电极、第二电极以及第三电极。第一电极相对于蚀刻工艺具有第一蚀刻速率。第二电极在第一电极上。第二电极相对于蚀刻工艺具有高于第一蚀刻速率的第二蚀刻速率。第三电极在第二电极上。第三电极相对于蚀刻工艺具有低于第二蚀刻速率且高于第一蚀刻速率的第三蚀刻速率。发光层在下电极上。上电极在发光层上。焊盘电极在焊盘区域中、基板上。
在实施例中,第一电极可以包括钛(Ti),并且第二电极可以包括银(Ag)。第三电极可以包括铟锡氧化物(ITO)。
在实施例中,焊盘电极可以包括第一金属层和第二金属层。第一金属层相对于蚀刻工艺可以具有第四蚀刻速率。第二金属层可以在第一金属层上。第二金属层可以相对于蚀刻工艺具有高于第四蚀刻速率的第五蚀刻速率。
在实施例中,第四蚀刻速率可以等于第一蚀刻速率。
在实施例中,焊盘电极可以进一步包括在第二金属层上的第三金属层。
在实施例中,第三金属层可以相对于蚀刻工艺具有高于第四蚀刻速率的第六蚀刻速率。第六蚀刻速率可以等于第三蚀刻速率。
在实施例中,第一金属层可以包括钛(Ti)。第二金属层可以包括铜(Cu)。第三金属层可以包括铟锡氧化物(ITO)。
在实施例中,显示装置可以进一步包括在显示区域和焊盘区域中、基板和下电极之间的保护绝缘层。
在实施例中,保护绝缘层可以暴露焊盘电极的顶表面的一部分。
在实施例中,显示装置可以进一步包括在基板和下电极之间的平坦化层。
在实施例中,平坦化层可以包括在从基板到下电极的方向上突出的突起。
在实施例中,下电极可以在突起上。
在实施例中,显示装置可以进一步包括在基板和下电极之间的半导体元件,以及在半导体元件和基板之间的屏蔽金属层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的