[发明专利]移动体装置、移动方法、曝光装置、曝光方法、平板显示器的制造方法、以及器件制造方法

权利要求书

1.一种移动体装置，其特征在于，具备：

第1移动体，其保持物体、能往彼此交叉的第1方向与第2方向移动；

第1测量系统，其于该第1方向多个格子区域彼此分离配置且包含该第1及第2方向的测量成分的第1格子区域、与一边相对该第1格子区域往该第1方向移动一边照射测量光束的多个第1读头中的一方设于该第1移动体，测量通过该多个第1读头中、该测量光束照射于该多个格子区域中的至少1个的至少3个第1读头所测量于该第1方向的该第1移动体的位置信息；

第2移动体，设在该第1格子区域与该多个第1读头中的另一方，能往该第2方向移动；

第2测量系统，其包含该第1及第2方向的测量成分的第2格子区域、与一边相对该第2格子区域往该第2方向移动一边照射测量光束的第2读头中的一方设于该第2移动体，第2格子区域与该第2格子区域中的另一方被设置成与该第2移动体对向，测量于该第2方向的该第2移动体的位置信息；以及

控制系统，其根据以该第1及第2测量系统测量的该位置信息、与用以补偿因该第1格子构件、该多个第1读头及该第1移动体的移动中的至少1个而产生的该测量系统的测量误差的修正信息，进行该第1移动体于包含该第1及第2方向的既定平面内的3自由度方向的移动控制。

2.如权利要求1所述的移动体装置，其特征在于，该修正信息补偿因在该多个格子区域的至少1个的变形、变位、平坦性及形成误差中的至少1个而产生的该测量系统的测量误差。

3.如权利要求1或2所述的移动体装置，其特征在于，该修正信息补偿因该多个第1读头的至少1个的光学特性、及在与该第2方向不同的方向的变位中的至少一方而产生的该测量系统的测量误差。

4.如权利要求1至3中任一项所述的移动体装置，其特征在于，该修正信息补偿因用以进行该移动体的位置控制的基准面、或该物体的曝光动作中该基板所一致的基准面与该格子部的格子面、在与该既定平面正交的第3方向的位置的差所产生的该测量系统的测量误差。

5.如权利要求4所述的移动体装置，其特征在于，该基准面包含该光学系统的像面。

6.一种移动体装置，通过光学系统以照明光使基板曝光，其特征在于，具备：

移动体，配置在该光学系统的下方，保持该基板；

驱动系统，其能在与该光学系统的光轴正交的既定平面内彼此正交的第1、第2方向移动该移动体；

测量系统，其于该第1方向多个格子区域彼此分离配置的格子构件、与对该格子构件分别照射测量光束且能于该第2方向移动的多个第1读头中的一方设于该移动体，且该格子构件与该多个第1读头中的另一方被设置成与该移动体对向，该测量系统，具有于该多个第1读头设置标尺构件与第2读头中的一方、且该标尺构件与该第2读头中的另一方被设置成与该多个第1读头对向，通过该第2读头对该标尺构件照射测量光束以测量于该第2方向的该多个第1读头的位置信息的测量装置，根据该多个第1读头中、该测量光束照射于该多个格子区域中的至少1个的至少3个第1读头的测量信息、与该测量装置的测量信息，测量至少于该既定平面内的3自由度方向的该移动体的位置信息；以及

控制系统，根据用以补偿因该标尺构件与该第2读头中的至少一方而产生的该测量装置的测量误差的修正信息、与以该测量系统测量的位置信息，控制该驱动系统；

该多个第1读头，分别在该移动体往该第1方向的移动中，该测量光束从该多个格子区域的1个脱离、并移至与该1个格子区域相邻的另一格子区域。

7.如权利要求5所述的移动体装置，其特征在于，进一步具备支承该光学系统的框架构件；

该测量装置的该标尺构件与该第2读头中的一方设于该多个第1读头，该标尺构件与该第2读头中的另一方设于该光学系统或该框架构件。