[发明专利]超声振动磨削光学玻璃亚表面裂纹形式判别与影响因素的权重解算方法

权利要求书

1.超声振动磨削光学玻璃亚表面裂纹形式判别与影响因素的权重解算方法，包括以下步骤：

步骤一、进行超声振动磨削光学玻璃亚表面微裂纹形式的判别

进行超声振动磨削光学玻璃亚表面损伤试验，对光学玻璃样件截面进行预处理，然后对出现的亚表面微裂纹形式进行检测，按照微裂纹的扩展方向、偏转角度和偏转次数特征参数来唯一确定各类亚表面微裂纹形式，获得光学玻璃亚表面微裂纹检测结果；

步骤二、对光学玻璃亚表面微裂纹数量分布进行统计

根据步骤一获得的光学玻璃亚表面微裂纹检测结果，识别出具有最大扩展深度的微裂纹，并以该条裂纹所衍生出的侧向裂纹的最大深度作为阈值，对样件截面所有光学玻璃亚表面微裂纹进行筛选，对于超过此深度的微裂纹的形式及其数量进行统计，以获取亚表面微裂纹形式及数量的分布特性；

步骤三、对光学玻璃亚表面微裂纹数量分布敏感性进行识别

根据步骤二获得的亚表面微裂纹形式及数量的分布特性，获取光学玻璃亚表面微裂纹扩展深度基础数据，构建工艺参数以及亚表面微裂纹最大扩展深度序列，计算每种工艺参数和微裂纹最大扩展深度之间的灰色关联度，对其微裂纹数量分布特性对工艺参数的敏感性进行识别，分析得出亚表面微裂纹数量分布的敏感性识别结果；

步骤四、进行工艺参数对亚表面微裂纹最大深度影响权重的解算

利用步骤三获取的光学玻璃亚表面微裂纹数量分布特性对工艺参数的敏感性识别结果，进行其敏感度的归一化处理，对亚表面裂纹数量分布的统计结果进行评判，进而计算工艺参数对亚表面微裂纹最大深度影响的权重值。

2.根据权利要求1所述的超声振动磨削光学玻璃亚表面裂纹形式判别与影响因素的权重解算方法，其特征在于：所述步骤一中，对光学玻璃样件截面进行预处理的方法是对光学玻璃样件的截面进行超精密抛光至表面粗糙度10nm以下，并将氢氟酸溶液的浓度稀释至1％，并将光学玻璃样件的截面完全浸入稀释后的氢氟酸溶液5分钟。

3.根据权利要求1所述的超声振动磨削光学玻璃亚表面裂纹形式判别与影响因素的权重解算方法，其特征在于：步骤一中，光学玻璃亚表面裂纹形式包括中位裂纹、侧向裂纹、弧线裂纹、折线裂纹和分叉裂纹五种形式。

4.根据权利要求1所述的超声振动磨削光学玻璃亚表面裂纹形式判别与影响因素的权重解算方法，其特征在于：步骤二中，为进一步统计裂纹形式的分布，通过图像测量软件检查裂纹的扩展深度，用扫描电子显微镜检查亚表面裂纹的形式，通过扫描每组实验的横截面，找到沿磨削深度方向具有最大深度的亚表面裂纹，用ImageJ软件在加工表面的顶部和裂纹的扩散位置的底部分别选择最高点和最低点，并输出获得亚表面裂纹深度的值。