[发明专利]X光活性材料及其制备方法和应用在审
申请号: | 202110897199.2 | 申请日: | 2021-08-05 |
公开(公告)号: | CN113823741A | 公开(公告)日: | 2021-12-21 |
发明(设计)人: | 薛冬峰;李云龙;王晓明 | 申请(专利权)人: | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
主分类号: | H01L51/42 | 分类号: | H01L51/42;H01L51/48;H01L51/46 |
代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 曹柳 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 活性 材料 及其 制备 方法 应用 | ||
本申请属于光电技术领域,尤其涉及一种X光活性材料及其制备方法,以及一种钙钛矿X光活性层的制备方法,一种X光探测器。其中,X光活性材料为卤化物钙钛矿材料,其化学通式为:AYZ3;其中,A包括碱金属离子或者有机铵离子,Y包括碳族金属元素,Z包括至少一种卤素。本申请X光活性材料,通过碱金属离子或者有机铵离子与卤素、铅等碳族金属元素等的协同作用,显著提高了活性材料的X光吸收及转化效率,同时提高了其载流子迁移效率以及材料的稳定性,使其有更好的应用前景。
技术领域
本申请属于光电技术领域,尤其涉及一种X光活性材料及其制备方法,以及一种钙钛矿X光活性层的制备方法,一种X光探测器。
背景技术
X光探测器(X-ray detector)是一种将X射线能量转换为可供记录的电信号的装置。近年来,随着X光探测器的大规模推广和使用,X光探测器在小型安检设备、工业零件检测、大型集装箱检测、医疗等领域的运用越来越多。
目前,X光探测器应用较多的是采用闪烁体的间接转化X光探测器,通常由闪烁体,探测器芯片,以及基板组合而成;工作原理是X光子入射进入闪烁体,转换为可见光输出,进入探测器芯片,再由探测器芯片进行光电转换,形成电信号,并通过芯片与基板上的导线传输至后续的信号处理芯片,从而形成最终的图像。与之相比,直接转化X光探测器可直接将X光吸收转化为电荷载流子,具有所需辐射剂量小、空间分辨率高、对比度范围大以及器件结构简单等优势,在高端医疗影像应用方面有更广阔的应用前景。直接转化X光平板影像探测器的核心是X光活性层,它是一种直接将X光吸收转化成电荷载流子的材料。目前,性能优越的X光活性材料可选择种类少,砷掺杂的无定型硒材料(a-Se:As)作为X光活性层是主流方法。但是,基于该材料的器件一方面制备条件苛刻,另一方面对高能量X光探测效率极低。因此,寻找可替代材料对发展下一代X光影像探测器意义重大。
卤化物钙钛矿材料由于具有优秀的X光吸收性质、高的载流子迁移率以及长的载流子寿命,因此被视为最有可能替代a-Se:As的下一代材料。当前技术制备钙钛矿X光活性层多为基于溶液中成核生长的钙钛矿单晶,这种方法可以比较方便的获得高质量和一定厚度的钙钛矿材料,但是这种工艺方法对后期功能层制备带来限制,且成本高、速率慢、面积小,因此不适合大规模工业生产。同时,在目前的技术中,钙钛矿单晶多数是基于双金属电极,与基于导电氧化铟锡(ITO)的TFT等阵列基底结合效果差,严重制约钙钛矿基直接转化X光探测器影像应用前景。
发明内容
本申请的目的在于提供一种X光活性材料及其制备方法,以及一种X光探测器,旨在一定程度上解决现有可直接将X光转化成电信号的X光活性材料种类少,对高能量X光探测效率低的问题。
为实现上述申请目的,本申请采用的技术方案如下:
第一方面,本申请提供一种X光活性材料,所述X光活性材料为卤化物钙钛矿材料,其化学通式为:AYZ3;其中,A包括碱金属离子或者有机铵离子,Y包括碳族金属元素,Z包括至少一种卤素。
进一步地,所述A包括Cs+或者Cs+和Rb+。
进一步地,所述有机铵离子包括:CH3NH3+、CH2(NH3)2+中的至少一种。
进一步地,所述Y包括:铅、锡中的至少一种。
进一步地,所述卤素包括:氯、溴、碘中的至少一种。
进一步地,所述X光活性材料的化学通式为:APbZ1xZ23-x;其中,Z1和Z2分别选自不同的卤素,0.5≤x≤1.5。
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