[发明专利]丝网印刷系统及丝网印刷方法有效
| 申请号: | 202110872243.4 | 申请日: | 2021-07-30 |
| 公开(公告)号: | CN113442563B | 公开(公告)日: | 2023-04-07 |
| 发明(设计)人: | 张良;符欣;辛华伟;程尚之;李晨;李建清;吴建晓 | 申请(专利权)人: | 宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业(有限合伙) |
| 主分类号: | B41F15/08 | 分类号: | B41F15/08;B41F15/14;B41M1/12;G06V10/24 |
| 代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 薛异荣 |
| 地址: | 242074 安徽省宣城市经济*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 丝网 印刷 系统 方法 | ||
1.一种丝网印刷方法,用于半导体器件的图案的定位印刷,所述半导体器件的图案包括第一栅线,其特征在于,包括以下步骤:
提供可移动载台;
当所述可移动载台处于初始位置时,将丝网印版设置在所述可移动载台的周围,所述丝网印版具有待印刷图案;
当所述可移动载台处于初始位置时,将所述半导体器件放置在所述可移动载台上,所述第一栅线与所述可移动载台接触,所述半导体器件位于所述丝网印版的侧部,采用图像传感装置获取所述半导体器件至所述丝网印版的第一相对位置信息;
所述可移动载台自初始位置移动至目标位置,在所述可移动载台自所述初始位置移动至所述目标位置的过程中,采用激光发射部件朝向所述可移动载台发射激光,当所述激光没有照射在所述第一栅线上时,激光照射区域被光子激发而产生红外光;当所述激光照射在所述第一栅线上时,激光照射区域无法被光子激发而产生红外光,因此红外光的分布情况能够反映所述第一栅线的位置,采用红外光接收部件接收所述半导体器件发出的红外光信号,以获取所述第一栅线在所述半导体器件中的第二位置信息;
根据所述第一相对位置信息和所述第二位置信息中的至少所述第二位置信息,采用移动件带动所述丝网印版移动,使所述待印刷图案与所述第一栅线对准;
以对准之后的丝网印版为掩膜在所述半导体器件的背离所述第一栅线的表面印刷第二栅极;
所述半导体器件为太阳能电池,多个所述太阳能电池适于通过焊带串联。
2.根据权利要求1所述的丝网印刷方法,其特征在于,所述可移动载台具有第一区和第二区;
将所述半导体器件放置在所述可移动载台上的步骤包括:将所述半导体器件放置在所述第一区上;
将丝网印版设置在所述可移动载台的周围的步骤包括:将所述移动件的固定端与所述第二区固定连接,将所述移动件的移动端与所述丝网印版连接,所述丝网印版位于所述第二区的上方;
采用移动件带动所述丝网印版移动的步骤包括:所述移动件根据所述第一相对位置信息和所述第二位置信息带动所述丝网印版移动。
3.根据权利要求2所述的丝网印刷方法,其特征在于,所述可移动载台自初始位置移动至目标位置的步骤包括:采用控制模块输出第一移动信号至驱动组件,所述驱动组件接收所述第一移动信号并带动所述可移动载台自初始位置移动至目标位置;
所述移动件带动所述丝网印版移动的步骤包括:采用控制模块根据第一相对位置信息和第二位置信息输出第二移动信号至所述移动件,所述移动件根据第二移动信号带动所述丝网印版移动,使所述待印刷图案与所述第一栅线对准。
4.根据权利要求1所述的丝网印刷方法,其特征在于,还包括:
提供承载平台;
将丝网印版设置在所述可移动载台的周围的步骤包括:将所述移动件的固定端固定连接在所述承载平台上,将所述移动件的移动端与所述丝网印版连接,所述丝网印版位于所述可移动载台的侧部;
所述可移动载台自初始位置移动至目标位置的步骤包括:所述可移动载台根据所述第一相对位置信息自初始位置移动至目标位置;
采用移动件带动所述丝网印版移动的步骤包括:所述移动件根据所述第二位置信息带动所述丝网印版移动。
5.根据权利要求4所述的丝网印刷方法,其特征在于,所述可移动载台自初始位置移动至目标位置的步骤包括:采用控制模块根据第一相对位置输出第三移动信号至驱动组件,所述驱动组件接收所述第三移动信号并带动所述可移动载台自初始位置移动至目标位置;
所述移动件带动所述丝网印版移动的步骤包括:采用控制模块根据第二位置信息输出第四移动信号至所述移动件,所述移动件根据第四移动信号带动所述丝网印版移动,使所述待印刷图案与所述第一栅线对准。
6.根据权利要求1至5任一项所述的丝网印刷方法,其特征在于,所述可移动载台自初始位置移动至目标位置进行水平移动,所述激光发射部件为线激光器,所述可移动载台的移动方向与所述激光发射部件发出的线激光的延伸方向垂直,所述线激光的延伸方向垂直于线激光的发射方向。
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