[发明专利]封装结构、显示面板及显示面板的制作方法在审
申请号: | 202110847538.6 | 申请日: | 2021-07-27 |
公开(公告)号: | CN113629210A | 公开(公告)日: | 2021-11-09 |
发明(设计)人: | 苗洋 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/52 | 分类号: | H01L51/52;H01L51/56 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 唐秀萍 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 封装 结构 显示 面板 制作方法 | ||
1.一种封装结构,其特征在于,包括有机结构层,所述有机结构层采用的材料包括有机结构材料,所述有机结构材料的结构式中包括其中,R1基团为R2基团为和-----O-----中的一种或多种,n为大于或等于1的正整数,x为-----H、----SiH3和NH2中的一种或多种。
2.根据权利要求1所述的封装结构,其特征在于,所述有机结构层采用的材料还包括无机材料,所述无机材料为氮化硅、氧化硅和氮氧化硅中的一种或多种组合,在所述有机结构层中,所述有机结构材料的含量与所述无机材料含量的比值为0.01至0.75。
3.根据权利要求1所述的封装结构,其特征在于,所述封装结构还包括至少一无机层,所述无机层采用的材料为氮化物、氧化物和氮氧化物中的一种或多种组合。
4.根据权利要求3所述的封装结构,其特征在于,所述封装结构包括两层所述无机层,所述有机结构层设置在两层所述无机层之间。
5.根据权利要求3所述的封装结构,其特征在于,所述封装结构包括三层所述无机层以及两层所述有机结构层,三层所述无机层与两层所述有机结构层交替层叠设置。
6.根据权利要求3所述的封装结构,其特征在于,所述封装结构包括三层所述无机层、一所述有机结构层以及一有机层,所述无机层、所述有机结构层、所述无机层、所述有机层以及所述无机层依次层叠设置,所述有机层采用的材料为紫外光敏聚合物、环氧系聚合物或亚克力系聚合物。
7.一种显示面板,其特征在于,包括:
阵列基板;
发光器件层,所述发光器件层设置在所述阵列基板上;
封装结构,所述封装结构设置在所述发光器件层远离所述阵列基板的一侧,所述封装结构为权利要求1至6任一项所述的封装结构。
8.一种显示面板的制作方法,其特征在于,包括:
提供一阵列基板;
在所述阵列基板上设置发光器件层;
将设置有所述发光器件层的阵列基板转移至腔体内,向腔体内通入反应气体;其中,反应气体为硅烷气体和一氧化二氮气体,或反应气体为硅烷气体和氨气;
电离所述反应气体,形成反应等离子体;
所述反应等离子体发生化学反应,并沉积在所述发光器件层上,形成有机结构层;其中,有机结构层采用的材料包括有机结构材料,所述有机结构材料中的结构式中包括其中,R1基团为R2基团为和-----O-----中的一种或多种,n为大于或等于1的正整数,x为-----H、----SiH3和NH2中的一种或多种。
9.根据权利要求8所述的封装结构的制作方法,其特征在于,所述在所述阵列基板上设置发光器件层之后,还包括在所述发光器件层远离所述阵列基板的一侧沉积无机层。
10.根据权利要求9所述的封装结构的制作方法,其特征在于,所述在所述阵列基板上设置发光器件层之后,还包括在所述无机层远离所述阵列基板的一侧沉积有机层。
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