[发明专利]磁浮重力补偿装置和微动台

权利要求书

1.一种磁浮重力补偿装置，其特征在于，包括：

内基磁体，所述内基磁体沿轴向延伸；

第一端部磁钢和第二端部磁钢，所述第一端部磁钢和所述第二端部磁钢分别位于所述内基磁体的两个轴向端并沿轴向延伸，且所述第一端部磁钢和所述第二端部磁钢的外径分别沿远离所述内基磁体的所述两个轴向端方向逐渐增大；

内磁环磁钢，所述内磁环磁钢呈筒状，且与所述内基磁体同轴地位于所述内基磁体外且与所述内基磁体径向间隔开；

外线圈，所述外线圈与所述内基磁体同轴地位于所述内磁环磁钢外，且与所述内磁环磁钢径向间隔开，所述外线圈相对所述内基磁体、所述第一端部磁钢和所述第二端部磁钢固定。

2.根据权利要求1所述的磁浮重力补偿装置，其特征在于，所述内基磁体的充磁方向为轴向，所述第一端部磁钢和所述第二端部磁钢的充磁方向为从所述内基磁体沿轴向向外，所述内磁环磁钢的充磁方向为从所述内磁环磁钢的环内往环外。

3.根据权利要求1所述的磁浮重力补偿装置，其特征在于，所述内基磁体的充磁方向为轴向，所述第一端部磁钢和所述第二端部磁钢的充磁方向为从外沿轴向指向所述内基磁体，所述内磁环磁钢的充磁方向为从所述内磁环磁钢的环外往环内。

4.根据权利要求2或3所述的磁浮重力补偿装置，其特征在于，所述磁浮重力补偿装置还包括：与所述内磁环磁钢同轴地位于所述外线圈外的外磁环磁钢，且所述外磁环磁钢与所述外线圈径向间隔开，所述外磁环磁钢相对所述内磁环磁钢固定；

其中，所述外磁环磁钢的充磁方向与所述内磁环磁钢的充磁方向相同。

5.根据权利要求4所述的磁浮重力补偿装置，其特征在于，所述外磁环磁钢由沿周向彼此邻接的多个弧形板组成；

各所述弧形板的充磁方向为径向方向，或所述弧形板的充磁方向平行于所述弧形板周向中央的径向方向。

6.根据权利要求1所述的磁浮重力补偿装置，其特征在于，所述磁浮重力补偿装置还包括：与所述内磁环磁钢同轴地位于所述外线圈外的外导磁环，所述外导磁环与所述外线圈径向间隔开。

7.根据权利要求1所述的磁浮重力补偿装置，其特征在于，所述内基磁体为永磁体，或所述内基磁体为内线圈，或所述永磁体与所述内线圈的组合，所述内线圈绕所述第一端部磁钢和所述第二端部磁钢度的轴线周向缠绕。

8.根据权利要求1所述的磁浮重力补偿装置，其特征在于，所述内磁环磁钢由沿周向彼此邻接的多个弧板组成；各所述弧板的充磁方向为径向方向，或所述弧板的充磁方向平行于所述弧板周向中央的径向方向。

9.一种微动台，其特征在于，包括：

载台装置；

微动底座，所述载台装置相对于所述微动底座垂向可滑动地连接至所述微动底座；

柔性机构，所述柔性机构包括弹性片，所述弹性片水平径向延伸，且所述弹性片的径向内端连接至所述载台装置，所述弹性片的径向外端连接至所述微动底座；以及

如权利要求1至8任意一项所述的磁浮重力补偿装置，所述内基磁体、所述第一端部磁钢、所述第二端部磁钢和所述外线圈组合成定子和动子中的一个，所述内磁环磁钢为所述定子和所述动子中的另一个，所述磁浮重力补偿装置位于载台装置下方，所述定子固定至所述微动底座，所述动子固定至所述载台装置。

10.根据权利要求9所述的微动台，其特征在于，所述磁浮重力补偿装置为多个，多个所述磁浮重力补偿装置的等效重心所在垂线与所述载台装置重心所在垂线共线。