[发明专利]原子层沉积装置

权利要求书

1.原子层沉积装置，其特征在于，包括：

反应室，所述反应室包括反应室主体与腔门，所述反应室主体的内部形成反应腔体，所述反应室主体上设有进气口与抽气口，所述腔门与所述反应室主体可拆卸连接；

安装架，所述安装架与所述腔门固定连接，所述腔门与所述反应室主体连接时，所述安装架位于所述反应腔体的内部；

第一承载件，所述第一承载件用于承载块状待包覆物，所述第一承载件与所述安装架可拆卸连接；

第二承载件，所述第二承载件用于承载粉状待包覆物，所述第二承载件与所述安装架可拆卸连接；所述第二承载件包括与所述抽气口连接的抽气管；所述第二承载件还包括沿径向设置的内支撑网与外支撑网，以及分别连接于二者的两端的第一端盖与第二端盖；所述内支撑网与所述外支撑网均呈镂空状，所述内支撑网的外部套设有内过滤网，所述外支撑网的外部套设有外过滤网，所述内过滤网与所述外支撑网之间形成用于容纳所述粉状待包覆物的容纳腔体，所述内支撑网的内部形成与所述抽气管连通的抽气腔体；

驱动件；

第一使用状态下，所述第一承载件与所述安装架固定连接；

第二使用状态下，所述第二承载件与所述安装架连接，且所述驱动件与所述第二承载件连接，所述驱动件用于驱动所述第二承载件相对于所述安装架转动。

2.根据权利要求1所述的原子层沉积装置，其特征在于，所述第一承载件上设有多个凹槽，所述凹槽用于容纳所述块状待包覆物。

3.根据权利要求1所述的原子层沉积装置，其特征在于，所述第一使用状态下，所述第一承载件与所述安装架通过螺纹紧固件连接；或者，所述第一承载件与所述安装架卡扣连接；或者，所述第一承载件与所述安装架通过磁吸固定。

4.根据权利要求1所述的原子层沉积装置，其特征在于，所述第二使用状态下，所述第二承载件与所述安装架之间通过轴承连接，所述第二承载件的转轴与所述驱动件连接。

5.根据权利要求4所述的原子层沉积装置，其特征在于，所述抽气管与所述转轴同轴设置，且二者分别位于所述第二承载件沿轴向的两端。

6.根据权利要求5所述的原子层沉积装置，其特征在于，所述安装架的中心区域设有贯通的容纳槽，所述第二承载件位于所述容纳槽内，沿所述轴向，所述容纳槽的两端各设有一个安装槽，所述转轴与所述抽气管上均套设有所述轴承，所述轴承与对应的所述安装槽过盈配合。

7.根据权利要求5所述的原子层沉积装置，其特征在于，所述外支撑网包括外支撑网第一端板，所述第一端盖与所述外支撑网第一端板可拆卸连接，所述转轴设置于所述第一端盖上，所述转轴与所述内支撑网可拆卸连接。

8.根据权利要求7所述的原子层沉积装置，其特征在于，所述外支撑网还包括外支撑网第二端板，所述第二端盖与所述外支撑网第二端板可拆卸连接，所述抽气管设置于所述第二端盖上，所述外支撑网第二端板上设有缺口，所述缺口的边缘沿轴向的投影位于所述容纳腔体内靠近所述外支撑网的一侧。

9.根据权利要求1所述的原子层沉积装置，其特征在于，所述反应室主体上安装有石英玻璃，所述反应室主体的外部设置有红外加热灯，所述红外加热灯能够透过所述石英玻璃对所述反应腔体加热。

10.根据权利要求1所述的原子层沉积装置，其特征在于，所述原子层沉积装置包括与所述腔门、所述驱动件均固定连接的支架，所述支架的底部固定连接有滑块，所述滑块与滑轨滑动连接，所述滑块与所述滑轨用于对所述腔门的直线运动进行导向。