[发明专利]制造显示装置的装置

说明书

一种制造显示装置的装置包括基板。掩模组件包括开口、围绕开口的掩模框架和联接到掩模框架的至少一个掩模。静电卡盘被配置以将基板附着到至少一个掩模。第一驱动器被配置以驱动静电卡盘。掩模框架的至少局部部分在基板的厚度方向上与静电卡盘不重叠。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2020年7月3日在韩国知识产权局提交的第10-2020-0082263号韩国专利申请的优先权，该韩国专利申请的公开内容通过引用全部并入本文。

技术领域

一个或多个示例性实施例涉及一种制造显示装置的装置，更具体地，涉及一种制造显示装置的装置，其中工艺良率增加。

背景技术

随着信息导向社会的发展，对用于显示图像的显示装置的需求增加。相对薄且轻量并且提供相对较大的显示面积的平板显示(FPD)设备已经变得越来越普及。例如，FPD设备已经取代了与FPD设备相比具有相对较大的尺寸的阴极射线管(CRT)。FPD设备包括液晶显示(LCD)设备、等离子体显示面板(PDPs)、有机发光显示(OLED)设备和电泳显示(ED)设备。

有机发光显示装置包括有机发光二极管，有机发光二极管包括对电极、像素电极和发射层。有机发光显示装置的电极和发射层可以通过各种方法形成。这些方法之一包括独立沉积方法。独立沉积方法涉及张紧精细金属掩模(FMM)以将FMM紧密地附着到掩模框架，以及将沉积材料沉积到表面。

发明内容

一个或多个示例性实施例包括一种工艺损失减小的制造显示装置的装置，以及一种制造显示装置的方法。

附加方面将在随后的描述中部分地阐述，并且将部分地从该描述中变得明显，或者可以通过实践本发明构思的所提出的示例性实施例来获悉。

根据示例性实施例，一种制造显示装置的装置包括基板。掩模组件包括开口、围绕所述开口的掩模框架和联接到所述掩模框架的至少一个掩模。静电卡盘被配置以将所述基板附着到所述至少一个掩模。第一驱动器被配置以驱动所述静电卡盘。所述掩模框架的至少局部部分在所述基板的厚度方向上与所述静电卡盘不重叠。

在平面图中，所述掩模框架的内端可以远离所述静电卡盘的外端。

连接构件可以联接到所述静电卡盘的顶表面的至少一部分，以将所述静电卡盘连接到所述第一驱动器。

所述第一驱动器可以将所述静电卡盘向上或向下转移。

所述装置可以进一步包括第一板，被配置以将所述基板紧密地附着到所述掩模。

所述静电卡盘和所述第一板可以被独立地驱动。

所述装置可以进一步包括被配置以驱动所述第一板的第二驱动器，其中所述第二驱动器可以将所述第一板向上或向下转移。

所述连接构件可以包括槽，并且所述第一板可以安置在所述槽中。

所述连接构件可以包括开口，所述开口暴露所述静电卡盘的顶表面的至少一部分，并且所述第一板可以安置在所述开口中。

所述掩模框架可以包括具有第一厚度的第一部分；以及第二部分，具有小于所述第一厚度的第二厚度，其中所述第一部分可以与所述静电卡盘不重叠。

根据示例性实施例，一种制造显示装置的装置包括基板。掩模组件包括开口、围绕所述开口的掩模框架和联接到所述掩模框架的至少一个掩模。静电卡盘被配置以将所述基板附着到所述掩模。第一驱动器被配置以驱动所述静电卡盘。所述静电卡盘包括主体部分，在所述基板的厚度方向上与所述掩模框架不重叠，并且具有第一厚度；以及连接部分，在所述基板的所述厚度方向上与所述掩模框架至少部分地重叠，并且具有小于所述第一厚度的第二厚度。

所述连接部分可以至少部分地围绕所述主体部分。