[发明专利]制造显示装置的装置

权利要求书

1.一种制造显示装置的装置，所述装置包括：

基板；

掩模组件，包括开口、围绕所述开口的掩模框架和联接到所述掩模框架的至少一个掩模；

静电卡盘，被配置以将所述基板附着到所述至少一个掩模；以及

第一驱动器，被配置以驱动所述静电卡盘；

其中所述掩模框架的至少局部部分在所述基板的厚度方向上与所述静电卡盘不重叠。

2.根据权利要求1所述的装置，其中：

在平面图中，所述掩模框架的内端与所述静电卡盘的外端间隔开；并且

所述掩模框架的整个部分在所述基板的所述厚度方向上与所述静电卡盘不重叠。

3.根据权利要求1所述的装置，其中所述装置进一步包括：

连接构件，被配置以将所述静电卡盘连接到所述第一驱动器；并且

所述连接构件联接到所述静电卡盘的顶表面的至少局部部分，以将所述静电卡盘连接到所述第一驱动器。

4.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一驱动器被配置以使所述静电卡盘向上或向下移动。

5.根据权利要求3所述的装置，进一步包括第一板，被配置以通过施加磁力将所述基板附着到所述至少一个掩模。

6.根据权利要求5所述的装置，其中所述静电卡盘和所述第一板被彼此独立地驱动。

7.根据权利要求6所述的装置，进一步包括被配置以驱动所述第一板的第二驱动器，

其中所述第二驱动器被配置以使所述第一板向上或向下移动。

8.根据权利要求5所述的装置，其中：

所述连接构件包括槽；并且

所述第一板被配置以安置在所述槽中。

9.根据权利要求5所述的装置，其中：

所述连接构件包括孔，所述孔暴露所述静电卡盘的顶表面的至少局部部分；并且

所述第一板被配置以安置在所述孔中。

10.根据权利要求1所述的装置，其中所述掩模框架包括：

具有第一厚度的第一部分；以及

具有小于所述第一厚度的第二厚度的第二部分，

其中所述第一部分在所述基板的所述厚度方向上与所述静电卡盘不重叠；并且

其中所述第二部分在所述基板的所述厚度方向上与所述静电卡盘的至少局部部分重叠。

11.一种制造显示装置的装置，所述装置包括：

基板；

掩模组件，包括开口、围绕所述开口的掩模框架和联接到所述掩模框架的至少一个掩模；

静电卡盘，被配置以将所述基板附着到所述至少一个掩模；以及

第一驱动器，被配置以驱动所述静电卡盘，

其中所述静电卡盘包括：

主体部分，在所述基板的厚度方向上与所述掩模框架不重叠，并且具有第一厚度；和

连接部分，在所述基板的所述厚度方向上与所述掩模框架至少部分地重叠，并且具有小于所述第一厚度的第二厚度。

12.根据权利要求11所述的装置，其中所述连接部分至少部分地围绕所述主体部分。

13.根据权利要求11所述的装置，其中在平面图中，所述掩模框架的内端与所述静电卡盘的所述主体部分的外端间隔开。

14.根据权利要求11所述的装置，其中所述第一驱动器联接到所述静电卡盘的横向表面。

15.根据权利要求14所述的装置，其中所述第一驱动器联接到所述静电卡盘的所述连接部分。

16.根据权利要求11所述的装置，其中所述第一驱动器被配置以使所述静电卡盘向上或向下移动。