[发明专利]一种带内腔的无氧铜背板的制备方法有效

专利信息
申请号: 202110721894.3 申请日: 2021-06-28
公开(公告)号: CN113430489B 公开(公告)日: 2023-02-28
发明(设计)人: 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;章丽娜 申请(专利权)人: 宁波江丰电子材料股份有限公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34;B23P15/00;C22F1/08
代理公司: 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 代理人: 王岩
地址: 315400 浙江省宁波市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 带内腔 无氧铜 背板 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种带内腔的无氧铜背板的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括:

对无氧铜坯料依次进行锻伸处理、第一热处理、冷轧处理、第二热处理、粗铣处理、挖槽、第三热处理以及精铣处理;

所述锻伸处理包括对所述无氧铜坯料依次进行镦粗处理以及拔长处理,所述镦粗处理至所述无氧铜坯料原长度的50~60%,所述拔长处理至所述无氧铜坯料原长度的120~130%,所述镦粗处理以及拔长处理重复至少2次,所述锻伸处理的温度为490~510℃。

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述第一热处理的温度为345~355℃。

3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述第一热处理的时间为118~122min。

4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述冷轧处理后所述无氧铜坯料的长度为原长度的270~280%,宽度为原宽度的180~190%。

5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述第二热处理的温度为295~305℃。

6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述第二热处理的时间为28~32min。

7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述第二热处理后进行校平处理。

8.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,所述校平处理后所述无氧铜坯料的平面度≤1mm。

9.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述粗铣处理的区域包括所述无氧铜坯料的上下平面、两长边以及两短边。

10.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述第三热处理的温度为445~455℃。

11.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述第三热处理的时间为295~305min。

12.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述精铣处理的区域包括所述无氧铜背板的外形轮廓、内腔、焊接面以及台阶。

13.根据权利要求1-12任一项所述的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括:

对无氧铜坯料依次进行锻伸处理,所述锻伸处理包括对所述无氧铜坯料依次进行镦粗处理以及拔长处理,所述镦粗处理至所述无氧铜坯料原长度的50~60%,所述拔长处理至所述无氧铜坯料原长度的120~130%,所述镦粗处理以及拔长处理重复至少2次,所述锻伸处理的温度为490~510℃;

进行第一热处理,所述第一热处理的温度为345~355℃,时间为118~122min;

进行冷轧处理,所述冷轧处理后所述无氧铜坯料的长度为原长度的270~280%,宽度为原宽度的180~190%;

进行第二热处理,所述第二热处理的温度为295~305℃,时间为28~32min;

进行校平处理,所述校平处理后所述无氧铜坯料的平面度≤1mm;

对所述无氧铜坯料的上下平面、两长边以及两短边进行粗铣处理并挖槽;

进行第三热处理,所述第三热处理的温度为445~455℃,时间为295~305min;

对无氧铜背板的外形轮廓、内腔、焊接面以及台阶进行精铣处理。

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