[发明专利]加工装置

权利要求书

1.一种加工装置，其在保持着板状的被加工物的正面侧的状态下对该被加工物进行加工，该被加工物在由设定于该正面的多条分割预定线划分的多个区域中分别设置有器件，其特征在于，

该加工装置具有：

卡盘工作台，其具有板状的保持部件，该保持部件包含一个面和位于该一个面的相反侧的另一个面，并具有从该一个面至该另一个面由透明材料形成的规定的区域，该卡盘工作台对该被加工物的该正面侧进行保持；

加工单元，其对由该卡盘工作台保持着该正面的该被加工物进行加工，在该被加工物上形成加工槽；

第1拍摄单元，其具有第1拍摄元件，该第1拍摄单元配置于该卡盘工作台的上方，对该卡盘工作台所保持的该被加工物的背面侧进行拍摄；

第2拍摄单元，其具有第2拍摄元件，该第2拍摄单元配置于该卡盘工作台的下方，在与由该第1拍摄单元拍摄的区域在该被加工物的厚度方向上对应的区域中，隔着该保持部件对该被加工物的该正面侧进行拍摄；

显示装置，其显示由该第1拍摄单元和该第2拍摄单元中的至少任意的拍摄单元所取得的该被加工物的图像；以及

控制部，其具有存储有执行图像处理的程序的存储装置和按照该程序对图像进行处理的处理装置，该控制部按照使由该第1拍摄单元对形成于该背面侧的该加工槽进行拍摄而得的第1图像与由该第2拍摄单元对形成于该正面侧的该加工槽进行拍摄而得的第2图像的朝向一致的方式，使该第1图像和该第2图像中的任意图像在规定的方向上翻转，并使该第1图像和该第2图像重叠，在该重叠的状态下，使该第1图像中的该加工槽和该第2图像中的该加工槽这两者显示在该显示装置上。