[发明专利]检查装置及其检查方法

说明书

一种检查装置及其检查方法，检查装置(16)对具有涂层(CL)的检查对象物(W)进行检查，其具备：多个发光部(44)，它们对涂层(CL)照射截面为环形的光；拍摄部(46)，其拍摄涂层(CL)所反射的反射光；计数部(62)，其根据拍摄部(46)所拍摄到的图像，对每单位面积的环形的光像的个数进行计数；以及厚度判定部(64)，其基于计数部(62)所计数的环形的光像的个数，判定涂层(CL)的厚度的优劣。

本申请为下述申请的分案申请，

原申请的申请日：2019年03月19日，

原申请的申请号：201910208555.8，

原申请的发明名称：检查装置及其检查方法。

技术领域

本发明涉及一种检查形成有涂层的检查对象物的检查装置及其检查方法。

背景技术

日本专利特开2014-083791号公报中，揭示了一种装置，其具备：涂覆部，其对片材的涂覆区域进行涂覆处理；以及检查部，其基于在对涂覆区域照射黑光后用相机拍摄到的图像判断是否适当地进行了涂覆。

具体而言，在涂覆区域整体发出青白光的情况下判断为进行了涂覆，在涂覆区域发青白光的部分和发白光的部分混杂存在的情况下判断为未适当地进行涂覆。

发明内容

然而，日本专利特开2014-083791号公报的装置中，虽然能够判断有无对涂覆区域进行涂覆，但难以判断该涂覆后的涂层的厚度是否形成为合适的膜厚。

于是，本发明的目的在于，提供一种能够检查涂层是否形成为合适的厚度的检查装置及其检查方法。

本发明的第1形态是一种对具有涂层的检查对象物进行检查的检查装置，其具备：多个发光部，它们对所述涂层照射截面为环形的光；拍摄部，其拍摄所述涂层所反射的反射光；计数部，其根据所述拍摄部所拍摄到的图像，对每单位面积的环形的光像的个数进行计数；以及厚度判定部，其基于所述计数部所计数到的所述环形的光像的个数，判定所述涂层的厚度的优劣。

本发明的第2形态是一种对具有涂层的检查对象物进行检查的检查装置的检查方法，其包括：照射步骤，从多个发光部对所述涂层照射截面为环形的光；拍摄步骤，拍摄所述涂层所反射的反射光；计数步骤，根据在所述拍摄步骤中拍摄到的图像，对每单位面积的环形的光像的个数进行计数；以及厚度判定步骤，基于在所述计数步骤中计数到的所述环形的光像的个数，判定所述涂层的厚度的优劣。

依据本发明，能够检查涂层是否形成为合适的厚度。

上述的目的、特征及优点应可从参照附图说明的以下的实施方式的说明容易地了解。

附图说明

图1是表示本实施方式的检查系统的概略图。

图2是表示图1的检查设备的框体的下表面侧的概略图。

图3是表示图1的检查处理部的构成的框图。

图4是表示从图3的拍摄部取得的图像的概念图。

图5是表示图1的检查处理部的处理顺序的流程图。

图6是表示变形例1的检查处理部的构成的框图。

图7是表示图6的拍摄部所拍摄到的图像的概念图。

图8是表示变形例2的检查系统的概略图。

图9是表示变形例2的检查处理部的构成的框图。

图10是表示变形例3的检查设备的框体的下表面侧的概略图。

具体实施方式

对本发明所涉及的检查装置，列举优选的实施方式，一边参照附图一边在以下详细地说明。