[发明专利]衬底处理装置

权利要求书

1.一种衬底处理装置，具备：

衬底处理单元，对衬底进行处理；

循环流路，配置有对被供给到所述衬底处理单元中的处理液进行加热的加热器，且供所述处理液进行循环；

吐出流路，从所述循环流路分支，且使所述处理液流向所述衬底处理单元；及

阀，配置在所述吐出流路中；且

所述循环流路的一部分沿着所述吐出流路的一部分配置。

2.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其中所述循环流路的一部分平行于所述吐出流路的一部分而延伸。

3.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其中所述循环流路的一部分与所述吐出流路的一部分接触。

4.根据权利要求1或2所述的衬底处理装置，其中进一步具备隔热材料，该隔热材料覆盖所述循环流路的一部分与所述吐出流路的一部分。

5.根据权利要求1或2所述的衬底处理装置，其中所述阀包含马达针阀。

6.根据权利要求1或2所述的衬底处理装置，其中进而包含流量计，该流量计配置在所述吐出流路中。

7.根据权利要求1或2所述的衬底处理装置，其中所述阀包含三向阀。

8.根据权利要求1或2所述的衬底处理装置，其中进一步具备收容部，该收容部收容所述循环流路的一部分、所述吐出流路的一部分、及所述阀。

9.根据权利要求8所述的衬底处理装置，其中所述收容部具有：箱，上方开口；及盖，覆盖所述箱的上方。

10.根据权利要求8所述的衬底处理装置，其中所述衬底处理单元包含：

腔室，用于对所述衬底进行处理；

衬底保持部，配置在所述腔室内；

杯体，配置在所述腔室内；

驱动室，配置有驱动所述衬底保持部及所述杯体的驱动部；及

框架，位于所述腔室与所述驱动室之间；且

所述收容部配置在所述框架的侧方。

11.根据权利要求1或2所述的衬底处理装置，其中所述循环流路具有：

主流路；及

迂回流路，从所述主流路分支，与所述吐出流路连接；且

所述迂回流路的一部分沿着所述吐出流路的一部分配置。