[发明专利]一种高频交流等离子发生器

权利要求书

1.一种高频交流等离子发生器，其特征在于：包括高频交流电源，所述高频交流电源的输入端外接市电，其输出端与等离子发生器本体电性连接；

其中，所述高频交流电源包括主电路和测量控制电路，所述测量控制电路包括隔离驱动电路、SPWM电压-电压复合控制器、温度检测电路、湿度检测电路和风速检测电路，所述SPWM电压-电压复合控制器与所述主电路并联，且所述SPWM电压-电压复合控制器还通过所述隔离驱动电路连接所述主电路，所述温度检测电路、所述湿度检测电路和所述风速检测电路均与所述SPWM电压-电压复合控制器连接；

所述等离子发生器本体包括绝缘板，所述绝缘板上平行设有第一金属线和第二金属线，所述第一金属线和所述第二金属线相互交错设置，且所述第一金属线和所述第二金属线之间设有长条孔，所述第一金属线的上端连接有第一电极线，其下端悬空设置，所述第一电极线连接第一电极；所述第二金属线的下端连接有第二电极线，其上端悬空设置，所述第二电极线连接第二电极，所述第一电极和所述第二电极之间与所述高频交流电源的输出端相接；所述绝缘板上还设有温度传感器、湿度传感器和风速传感器，所述温度传感器与所述温度检测电路相接，所述湿度传感器与所述湿度检测电路相接，所述风速传感器与所述风速检测电路相接；

所述绝缘板采用印刷电路板，所述第一电极线和所述第二电极线于所述印刷电路板上腐蚀得到。

2.根据权利要求1所述的高频交流等离子发生器，其特征在于：所述主电路包括依次串联的单相桥式全控整流滤波电路、DC/AC高频逆变电路、LC滤波电路及高频升压电路，所述单相桥式全控整流滤波电路与市电相接，所述DC/AC高频逆变电路分别与所述隔离驱动电路和所述SPWM电压-电压复合控制器相接，所述高频升压电路与所述第一电极和所述第二电极相接。

3.根据权利要求2所述的高频交流等离子发生器，其特征在于：所述高频升压电路输出的电压为1300～1700VAC、频率为25～45KHz。

4.根据权利要求2所述的高频交流等离子发生器，其特征在于：所述SPWM电压-电压复合控制器由DC电压检测电路、集成SPWM芯片、AC测量电压及转换电路、变增益放大电路、PI调节器、电压给定器、正弦波发生器和归一换算电路组成；所述DC电压检测电路一端连接在所述单相桥式全控整流滤波电路和所述DC/AC高频逆变电路之间，所述DC电压检测电路另一端连接所述归一换算电路，所述AC测量电压及转换电路一端连接在所述DC/AC高频逆变电路和所述LC滤波电路之间，所述AC测量电压及转换电路另一端与所述电压给定器以及所述归一换算电路另一端同时连接所述PI调节器，所述PI调节器还分别连接所述正弦波发生器和所述变增益放大电路，所述变增益放大电路连接所述集成SPWM芯片，所述集成SPWM芯片通过所述隔离驱动电路连接所述DC/AC高频逆变电路。

5.根据权利要求1所述的高频交流等离子发生器，其特征在于：所述第一金属线和所述第二金属线的线径为0.02～0.08mm，线长为15～17mm。

6.根据权利要求1所述的高频交流等离子发生器，其特征在于：所述长条孔长16～19mm，宽1.5～3mm。