[发明专利]用于提高外延片波长一致性的石墨基板有效
| 申请号： | 202110693598.7 | 申请日： | 2021-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN113652742B | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 葛永晖;梅劲;陈张笑雄;王慧 | 申请（专利权）人： | 华灿光电（浙江）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;C30B25/18;C30B28/14;C30B29/40;H01L21/673;H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 吕耀萍 |
| 地址： | 322000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 提高 外延 波长 一致性 石墨 | ||
1.一种用于提高外延片波长一致性的石墨基板，其特征在于，所述石墨基板为多棱柱结构，所述石墨基板的外周壁具有多个棱柱面，且任意相邻的两个所述棱柱面的连接处均具有一个V型槽，所述V型槽沿所述石墨基板的径向向内凹陷，且所述V型槽长度等于所述石墨基板的轴向长度；
所述石墨基板的上表面具有用于容纳衬底的多圈凹槽，所述多圈凹槽呈环形排列在所述石墨基板的上表面上，所述多圈凹槽中最靠近所述石墨基板边缘的一圈凹槽为第一圈凹槽，所述第一圈凹槽包括沿所述石墨基板的周向间隔布置的多个第一凹槽，所述多个棱柱面与所述多个第一凹槽一一对应，每个所述第一凹槽均位于对应的所述棱柱面两侧的两个所述V型槽之间，每个所述棱柱面至对应的所述第一凹槽之间的最小距离为L1，10mm≤L1≤50mm；
所述第一圈凹槽包括8～12个所述第一凹槽，所述石墨基板的上表面具有n圈凹槽，2≤n≤6，每个所述棱柱面的宽度均为10～30cm，每个所述V型槽的侧壁的宽度均为2～10cm。
2.根据权利要求1所述的石墨基板，其特征在于，每个所述V型槽的侧壁至对应的所述第一凹槽之间的最小距离为L2，L2＝L1。
3.根据权利要求1或2所述的石墨基板，其特征在于，所述石墨基板为以石墨作为基材，且表面镀有碳化硅涂层的结构。
4.根据权利要求3所述的石墨基板，其特征在于，所述石墨基板的厚度为10mm～20mm。
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