[发明专利]一种碳化硅动态检测设备

权利要求书

1.一种碳化硅动态检测设备，包括检测设备主体(1)，其特征在于，还包括进样装置，所述进样装置包括立架(2)和外壳(3)，所述立架(2)上铺设有与碳化硅器件(101)端口以及检测设备主体(1)接线端口连接的导线，所述导线与所述碳化硅器件(101)端口连接的一端连接有导电金属柱(21)，所述外壳(3)的顶部设有穿接口，所述导电金属柱(21)贯穿所述穿接口设置；

所述外壳(3)内设有样品存储箱(4)、样品传送装置(5)、样品收集箱(6)和控制器，所述样品传送装置(5)安装在所述外壳(3)内侧壁，并位于所述导电金属柱(21)和所述样品存储箱(4)之间，所述控制器安装在所述外壳(3)内壁，所述控制器与所述样品传送装置(5)连接；所述控制器用于控制所述样品传送装置(5)将所述样品存储箱(4)内的碳化硅器件(101)夹持起来，并传输至所述导电金属柱(21)处，使所述导电金属柱(21)插入对应的所述碳化硅器件(101)端口，所述样品传送装置(5)还用于将已检测的碳化硅器件(101)转移至所述样品收集箱(6)内，然后再抓取所述样品存储箱(4)内新的所述碳化硅器件(101)；

所述样品传送装置(5)包括偏心轮(51)、非偏心的传送轮(52)、传送带(53)、样品夹持件(54)、样品解锁件(55)和旋转电机；

所述偏心轮(51)和所述传送轮(52)的转轴均转动安装在所述外壳(3)内，所述偏心轮(51)的转轴与所述样品存储箱(4)中心线以及所述导电金属柱(21)中心线位于同一竖线上，所述偏心轮(51)位于所述样品存储箱(4)以及所述导电金属柱(21)之间，所述传送轮(52)位于所述偏心轮(51)侧方，所述传送带(53)包裹并传动连接在所述偏心轮(51)和所述传送轮(52)之间；所述传送带(53)上沿其传动方向分散且均布设有多个所述样品夹持件(54)；

所述样品存储箱(4)内底部设有升降装置(41)，所述碳化硅器件(101)用于叠加放置在所述升降装置(41)上，且位于最顶部的所述碳化硅器件(101)能被所述传送带(53)上的所述样品夹持件(54)夹持；

所述样品解锁件(55)安装在所述外壳(3)内壁上，并位于所述样品传送装置(5)侧方，所述样品解锁件(55)与所述传送轮(52)分别位于所述偏心轮(51)的两侧，并且，所述样品解锁件(55)位于所述样品收集箱(6)的正上方，所述样品解锁件(55)能打开靠近其的所述碳化硅器件(101)上的所述样品夹持件(54)；

所述外壳(3)上设置有样品存储箱(4)和样品收集箱(6)的位置设置有活动门。

2.根据权利要求1所述的碳化硅动态检测设备，其特征在于，所述样品传送装置(5)为机械爪，所述控制器与所述机械爪连接。

3.根据权利要求1所述的碳化硅动态检测设备，其特征在于，所述样品夹持件(54)包括两个设置在所述传送带(53)上的绝缘的夹臂(541)，所述夹臂(541)为弹力夹臂或者与传送带(53)之间通过弹力件(542)连接；

所述样品解锁件(55)包括两个顶梁斜杆(551)，每个顶梁斜杆(551)与其同侧的所述夹臂(541)位置相对，当所述偏心轮(51)从最高处旋转至最低处并经过所述样品解锁件(55)时，所述顶梁斜杆(551)与其同侧的所述夹臂(541)逐渐抵接，并将所述夹臂(541)向远离所述碳化硅器件(101)的方向顶离，当偏心轮(51)继续向最低处旋转，则所述顶梁斜杆(551)逐渐与所述夹臂(541)分离。

4.根据权利要求3所述的碳化硅动态检测设备，其特征在于，每个所述夹臂(541)的表面设置有倾斜边缘(5411)，所述倾斜边缘(5411)为一半圆台形或者小于一半圆台形的形状，其靠近所述传送带(53)的一面为平面，与传送带(53)不接触，所述倾斜边缘(5411)连接有所述弹力件(542)的一端，所述弹力件(542)的另一端与所述传送带(53)连接；

所述顶梁斜杆(551)为弯曲形状，且弯曲弧度与所述偏心轮(51)从最高处旋转至最低处并经过所述样品解锁件(55)时的边缘轨迹相匹配。