[发明专利]一种柔性膜制作方法有效
申请号: | 202110677257.0 | 申请日: | 2021-06-18 |
公开(公告)号: | CN113463048B | 公开(公告)日: | 2023-07-14 |
发明(设计)人: | 朱磊;周健;张继凡 | 申请(专利权)人: | 安徽立光电子材料股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/10;C23C14/20 |
代理公司: | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人: | 权鲜枝 |
地址: | 239200 安徽省*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 柔性 制作方法 | ||
本发明涉及一种柔性膜,包括PET膜,PET膜的非硬化面上从下到上依次设有无氧硅膜层、铟锡合金层以及二氧化硅层;PET膜的厚度为50‑200μm;无氧硅膜层的厚度为1‑5nm;铟锡合金层的厚度为30‑50nm;二氧化硅层的厚度为5‑15nm;本发明制备得到的柔性膜,附着力好,可以达到5B;不易氧化,成膜质量高,针孔杂质点缺陷较少。
技术领域
本发明涉及一种柔性膜制作方法,属于柔性膜制备领域。
背景技术
随着电子信息技术发展,传统的家电领域也需要进行消费升级,智能家电作为新的生活方式,越来越受到消费者关注,个性化体验能够满足消费者对质感和美学的需求。特别是5G时代万物互联技术应用,智能家居产品对信号传输要求越来越高,金属材料质感较好,但金属材料对无线信号存在一定程度的屏蔽作用,同时金属材料加工周期长,成本高。同时,智能家居产品为打造差异化产品,需要对产品有一定的弧度,要求显示触控部分具有可绕曲能力,普通玻璃加工实现成本较高,工艺流程复杂。这样,就需要有一种具备柔性特质,拥有金属质感且电阻值≥2000MΩ的材料。
发明内容
本发明针对现有技术中存在的不足,提供了一种柔性膜制作方法,以解决现有技术中存在的问题。
为实现上述目的,本发明采用的技术方案如下:
一种柔性膜,包括PET膜,PET膜的非硬化面上从下到上依次设有无氧硅膜层、铟锡合金层以及二氧化硅层。
进一步的,PET膜的厚度为50-200μm;
进一步的,无氧硅膜层的厚度为1-5nm;
进一步的,铟锡合金层的厚度为30-50nm;
进一步的,二氧化硅层的厚度为5-15nm。
一种柔性膜的制备方法,其特征在于,步骤如下:
(1)准备PET膜;
(2)将PET膜安装在磁控溅射镀膜机的冷鼓上,PET膜的硬化面与冷鼓接触,向冷鼓内通入-10℃~-20℃冷冻液并进行循环,对PET膜材进行冷却,抽真空至真空度小于8×10-4Pa,通入氩气,保持真空度为4±1×10-1Pa;
(3)采用阳极层离子源对PET膜的非硬化面进行轰击,保持真空度4±1×10-1Pa,控制离子源电压500-1500V,电流0.1-1A;
(4)将经过步骤(3)处理后的PET膜放入至磁控溅射仪器内,保持真空度4±1×10-1Pa,中频电压400-600V,在PET膜的非硬化面上采用中频溅射的方式镀制无氧硅膜层;
(5)开启磁控溅射靶材,采用直流电源在经过步骤(4)处理后的无氧硅膜层上沉积铟锡合金层;
(6)采用中频磁控溅射方式,在经过步骤(5)处理后的铟锡合金层上沉积二氧化硅层,得到PET仿金属质感柔性膜。
进一步的,步骤(5)中,铟锡合金层中铟和锡的质量比为3-8:2-7。
进一步的,步骤(5)中,直流电源的电流为3-5A。
进一步的,步骤(6)中,中频电源的功率为8-10kw。
进一步的,步骤(6)中,制备得到的PET仿金属质感柔性膜的电阻值≥2000MΩ。
由于采用了以上技术,本发明较现有技术相比,具有的有益效果如下:
本发明制备得到的柔性膜,附着力好,可以达到5B;不易氧化,成膜质量高,针孔杂质点缺陷较少。
附图说明
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