[发明专利]一种柔性膜制作方法

权利要求书

1.一种用于制备柔性膜的方法，其特征在于，步骤如下：

（1）准备PET膜，所述PET膜的厚度为188μm；

（2）将PET膜安装在磁控溅射镀膜机的冷鼓上，PET膜的硬化面与冷鼓接触，向冷鼓内通入-10℃冷冻液并进行循环，对PET膜材进行冷却，抽真空至真空度小于8×10^-4 Pa，通入氩气，保持真空度为4×10^-1Pa；

（3）采用阳极层离子源对PET膜的非硬化面进行轰击，保持真空度4×10^-1Pa，控制离子源电压1500V，电流0.2A；

（4）将经过步骤（3）处理后的PET膜放入至磁控溅射仪器内，保持真空度4×10^-1Pa，中频电压500V，在PET膜的非硬化面上采用中频溅射的方式镀制无氧硅膜层，所述无氧硅膜层的厚度为2nm；

（5）开启磁控溅射靶材，采用直流电源在经过步骤（4）处理后的无氧硅膜层上沉积铟锡合金层，所述铟锡合金层的厚度为40nm，铟锡合金层中铟和锡的质量比为3:7；直流电源的电流为5A；

（6）采用中频磁控溅射方式，在经过步骤（5）处理后的铟锡合金层上沉积二氧化硅层，所述二氧化硅层的厚度为10nm，得到柔性膜。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤（6）中，中频电源的功率为10kw。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤（6）中，制备得到的PET仿金属质感柔性膜的电阻值≥2000MΩ。