[发明专利]一种衬底研磨装置及其研磨方法

权利要求书

1.一种衬底研磨装置，其特征在于，包括配液周转缸，配液周转缸砂液排出口连接小砂桶，小砂桶连接减薄机，减薄机砂液回流口连接小砂桶，小砂桶内设有液位感应器，配液周转缸砂液排出口通过第一管道连接小砂桶，第一管道上设有第一控制阀门，第一控制阀门和液位感应器之间电性连接，小砂桶连接第二管道，第二管道连接隔膜泵，隔膜泵的输出管道连接减薄机。

2.根据权利要求1所述的衬底研磨装置，其特征在于，所述配液周转缸的容积大于所述小砂桶的容积，所述小砂通的容积量与所述减薄机完成一次作业所需砂液量的整数倍。

3.如权利要求1所述的衬底研磨装置，其特征在于，输出管道包括主管道以及与主管道连接的第一支管道、第二支管道，第一支管道连接减薄机，第二支管道连接废砂液回收桶，第一支管道上安装有第二控制阀门，第二支管道上安装第三控制阀门。

4.如权利要求2所述的衬底研磨装置，其特征在于，第一控制阀门、第二控制阀门、第三控制阀门为自动阀门。

5.如权利要求1所述的衬底研磨装置，其特征在于，隔膜泵固定安装在减薄机上。

6.如权利要求1所述的衬底研磨装置，其特征在于，砂液回流口通过回流管连接小砂桶。

7.如权利要求1所述的衬底研磨装置，其特征在于，小砂桶上安装有用于对小砂桶内的砂液搅拌的搅拌装置。

8.如权利要求1所述的衬底研磨装置，其特征在于，还包括拉粗机配液周转缸，拉粗机配液周转缸砂液排出口连接拉粗机，拉粗机砂液排出口连接配液周转缸，拉粗机配液周转缸和拉粗机之间通过第三管道连接，第三管道上安装蠕动泵。

9.一种衬底研磨装置的研磨方法，其特征在于，包括：

S1：研磨减薄配液：砂液导入配液周转缸；

S2：液位感应完成加液：液位感应器根据小砂桶内的砂液量，控制自动阀门的开启或关闭，向小砂捅内注入或停止注入配液周转缸内的砂液；

S3：循环减薄加工：隔膜泵将小砂桶内的砂液泵至减薄机，减薄机的砂液回流口回流减薄加工过程中的砂液，砂液循环减薄加工；

S4：废砂液回收：循环减薄加工完成后，隔膜泵将小砂捅内的废砂液泵至废砂液回收桶，完成一次衬底减薄作业。

10.一种衬底研磨装置的研磨方法，其特征在于，包括：

S1：拉粗配液：砂液在拉粗配液周转缸内完成配液；

S2：衬底拉粗研磨：蠕动泵将配液周转缸内的砂液泵至拉粗机，拉粗机对衬底进行拉粗研磨；

S3：衬底循环减薄加工：将拉粗研磨后的衬底转移至减薄机，所述衬底循环减薄加工至少包括如下步骤：

研磨减薄配液：拉粗机加工后的砂液导入配液周转缸；

液位感应完成加液：液位感应器根据小砂桶内的砂液量，控制自动阀门的开启或关闭，向小砂捅内注入或停止注入配液周转缸内的砂液；

循环减薄加工：隔膜泵将小砂桶内的砂液泵至减薄机，减薄机的砂液回流口回流减薄加工过程中的砂液，砂液循环减薄加工；

S4：废砂液回收：循环减薄加工完成后，隔膜泵将小砂捅内的废砂液泵至废砂液回收桶。