[发明专利]一种冷却系统

权利要求书

1.一种冷却系统，其特征在于，包括工作设备、第一冷却介质源、第二冷却介质源、第一切换组件、第二切换组件以及防错装置，所述工作设备具有第一入口和第一出口，所述第一入口通过所述第一切换组件分别与所述第一冷却介质源和所述第二冷却介质源选择性地连通，所述第一出口通过所述第二切换组件分别与第一冷却介质源和所述第二冷却介质源选择性地连通，所述防错装置分别与所述第一切换组件和所述第二切换组件连接以使所述第一切换组件和所述第二切换组件联动。

2.根据权利要求1所述的冷却系统，其特征在于，所述第一切换组件为第一阀门，所述第二切换组件为第二阀门。

3.根据权利要求2所述的冷却系统，其特征在于，所述第一阀门具有第一操作装置，所述第一操作装置配置为驱动所述第一阀门的阀芯动作，所述第二阀门具有第二操作装置，所述第二操作装置配置为驱动所述第二阀门的阀芯动作；所述防错装置分别与所述第一操作装置和所述第二操作装置连接以使所述第一操作装置和所述第二操作装置联动。

4.根据权利要求3所述的冷却系统，其特征在于，所述第一操作装置为绕第一转动中心线转动的第一手柄，所述第二操作装置为绕第二转动中心线转动的第二手柄，所述防错装置分别与所述第一手柄和所述第二手柄转动连接以使所述第一手柄和所述第二手柄联动，所述防错装置与所述第一手柄在第一位置处转动连接，所述第一位置与所述第一转动中心线之间间隔第一预设距离，所述防错装置与所述第二手柄在第二位置处转动连接，所述第二位置与所述第二转动中心线之间间隔第二预设距离。

5.根据权利要求4所述的冷却系统，其特征在于，所述第一位置位于第一手柄端部，所述第二位置位于所述第二手柄的端部。

6.根据权利要求4所述的冷却系统，其特征在于，所述防错装置为连杆，所述连杆的两端均形成有球头；所述第一手柄形成有第一球窝，所述连杆其中一端的球头位于所述第一球窝内；所述第二手柄形成有第二球窝，所述连杆另一端的球头位于所述第二球窝内。

7.根据权利要求2所述的冷却系统，其特征在于，所述第一阀门具有第一端口、第二端口以及第三端口，所述第一端口与所述第一冷却介质源连通，所述第二端口与所述第一入口连通，所述第三端口与所述第二冷却介质源连通，所述第二端口分别与所述第一端口和所述第三端口选择性地连通；所述第二阀门具有第四端口、第五端口以及第六端口，所述第四端口与所述第一冷却介质源连通，所述第五端口与所述第一出口连通，所述第六端口与所述第二冷却介质源连通，所述第五端口分别与所述第四端口和所述第六端口选择性地连通。

8.根据权利要求1～7任一项所述的冷却系统，其特征在于，所述工作设备为清洗机台，所述清洗机台配置为对晶圆进行清洗，所述第一冷却介质源为机台水冷机组，所述第二冷却介质源为厂务水冷机组。

9.根据权利要求8所述的冷却系统，其特征在于，所述机台水冷机组包括容器、制冷器以及水泵，所述水泵连接在所述容器与所述第一切换组件之间，所述制冷器配置为抽取所述容器中的水进行降温处理并将降温处理后的水送回所述容器，所述水泵配置为将所述容器中进行降温处理后的水经所述第一切换组件输送至清洗机台并从所述清洗机台经所述第二切换组件输送回所述容器，所述容器与外界连通。

10.根据权利要求1～7任一项所述的冷却系统，其特征在于，所述冷却系统还包括第三阀门和第八阀门，所述第一切换组件通过所述第三阀门与所述第二冷却介质源选择性地连通，所述第二切换组件通过所述第八阀门与所述第二冷却介质源选择性地连通。