[发明专利]一种LED外延晶层生产工艺

权利要求书

1.一种LED外延晶层生产工艺，其特征在于：具体工艺步骤如下：

S1、原料准备：通过人工将基片放置在支撑机构上方的夹紧机构上，并向储气机构内依次填充不同的原料气体；

S2、气体除杂：启动夹紧机构，通过与支撑机构间的配合，带动基片在反应筒(100)内进行左右往复摆动；

S3、基片清理：S2步骤进行的同时启动储气机构，控制无水氯化氢进入反应筒(100)内，对基片进行深度清理；

S4、晶层获取：经上述S1-S3步骤后，对反应筒(100)进行升温处理，启动储气机构向反应筒(100)内填充其他的原料气体，在基片上形成晶层，同时利用梳理机构对基片上的晶层进行梳理，以保证晶层厚度的均匀性；

S5、产品拾取：待S4步骤结束，关闭储气机构，对反应筒(100)进行降温，待温度下降后可从反应筒(100)内取出基片，以拾取晶层；

上述工艺S1-S5步骤中的作业工序需由反应筒(100)、两个底座(101)、密封门(102)、加热腔(129)、进气口(103)、排气口(104)、储气机构、支撑机构、夹紧机构、梳理机构配合完成相应的处理操作，其中：

反应筒(100)下端安装有两个底座(101)，所述反应筒(100)左端设有进气口(103)，所述反应筒(100)右端设有排气口(104)，位于所述反应筒(100)中心线上方的圆弧端壁内设有密封门(102)，位于所述反应筒(100)中心线前后两侧的圆弧端壁内分别设有加热腔(129)，所述反应筒(100)左端设有与所述进气口(103)相连的储气机构，所述反应筒(100)内设有支撑机构，所述支撑机构上方设有夹紧机构，所述夹紧机构上方设有梳理机构。

2.根据权利要求1所述的一种LED外延晶层生产工艺，其特征在于：所述储气机构包括设置在位于所述反应筒(100)中心线左侧的所述底座(101)左端面的底盘(105)，所述底盘(105)上方由前至后依次设有至少两个的储气筒(108)，所述底盘(105)上方位于若干所述储气筒(108)和所述反应筒(100)间设有与所述进气口(103)连通的集气箱(107)，所述集气箱(107)下端与所述底盘(105)上端间设有支撑杆(106)，每个所述储气筒(108)与所述集气箱(107)间连通有导气管(109)。

3.根据权利要求1所述的一种LED外延晶层生产工艺，其特征在于：所述支撑机构包括限定在所述反应筒(100)内的安置腔(110)，所述安置腔(110)内沿所述反应筒(100)的径向方向依次设有至少两个的液压缸(111)，若干所述液压缸(111)间通过油管依次连通，每个所述油管内设有单向阀，每个所述液压缸(111)内滑动连接有液压杆(112)，每个所述液压缸(111)顶端设有球形块(113)，每个所述球形块(113)上端设有支撑板(114)，所述支撑板(114)下端转动连接有两个第一连杆(116)和两个第二连杆(117)，每个所述第一连杆(116)和每个所述第二连杆(117)滑动设置在所述反应筒(100)内，且每个所述第一连杆(116)的滑动长度大于每个所述第二连杆(117)的滑动长度，每个所述支撑板(114)内由前至后转动连接有两个挡板(115)。

4.根据权利要求1所述的一种LED外延晶层生产工艺，其特征在于：所述夹紧机构包括设置在所述支撑机构支撑板(114)上端的两个定位板(118)，每个所述定位板(118)靠近所述支撑机构支撑板(114)中心线的一端转动连接有转轴(121)，所述转轴(121)与所述支撑机构的挡板(115)间通过拉绳传动连接，每个所述转轴(121)靠近所述支撑机构支撑板(114)中心线的一端设有夹具(122)，每个所述夹具(122)上滑动连接有夹板(123)，位于所述支撑机构支撑板(114)中心线后方的所述转轴(121)贯穿所述定位板(118)的端壁延伸至所述定位板(118)后方，位于所述支撑机构支撑板(114)中心线后方的定位板(118)后端设有电机座(119)，所述电机座(119)上设有控制电机(120)，所述控制电机(120)与所述转轴(121)间可拆卸连接。

5.根据权利要求1所述的一种LED外延晶层生产工艺，其特征在于：所述梳理机构包括设置在所述夹紧机构每个定位板(118)上方的连接板(124)，两个所述连接板(124)间设有滑道板(125)，所述滑道板(125)靠近所述进气口(103)的一端由前至后依次设有两个电磁滑道(126)，每个所述电磁滑道(126)内滑动连接有磁性滑块(127)，每个所述磁性滑块(127)下端设有梳理箱(128)。