[发明专利]一种用于半导体设备排气管道的防触电柔性加热器

说明书

本发明属于柔性加热设备技术领域，具体公开了一种用于半导体设备排气管道的防触电柔性加热器，包括外壳，所述外壳顶端和底端分别设有正极和负极，所述外壳顶端设有卡块，所述外壳底端设有卡槽，所述外壳侧面设有滑动槽，所述滑动槽内设有移动块，所述外壳内设有数个隔离块，所述隔离块顶端对称设有两个加强筋，所述隔离块和负极底端设有安装块，所述隔离块底端设有固定孔，所述隔离块和正极底端设有安装孔，所述隔离块内部设有加热丝，所述外壳内部中间设有安装通道，设置的组合式结构可以按需求进行多段装置组合后进行使用，设置的加强筋可以有效将两段装置进行相互连接组合，在两端装置进行弯曲时进行变形以适应管道的使用。

技术领域

本发明涉及一种用于半导体设备排气管道的防触电柔性加热器，属于柔性加热设备技术领域。

背景技术

传统的加热器为发热丝盘旋固定在绝缘体上，这一种加热器为平面加热器，只能加热平面被加热物体。还有的加热器是将发热丝植入套管中，套管内填充传热材料，因套管为常规金属材料，不具备弯曲功能。因此，上述加热器形式在应用上受到一定限制，特别是针对弯曲管道这些加热器都无法使用。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于半导体设备排气管道的防触电柔性加热器，解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于半导体设备排气管道的防触电柔性加热器，包括外壳，所述外壳顶端和底端分别设有正极和负极，所述外壳顶端设有卡块，所述外壳底端设有卡槽，所述外壳侧面设有滑动槽，所述滑动槽内设有移动块，所述外壳内设有数个隔离块，所述隔离块顶端对称设有两个加强筋，所述隔离块顶端和负极顶端设有安装块，所述隔离块底端设有固定孔，所述隔离块底端和正极底端设有安装孔，所述隔离块内部设有加热丝，所述外壳内部中间设有安装通道。

优选的，所述卡块和卡槽大小相同且位置相互对应，所述卡块和卡槽相互嵌合，所述外壳相互之间通过卡块和卡槽相互连接。

优选的，所述加强筋为金属材质，所述加强筋外层覆盖有软质绝缘材料，所述加强筋顶端一侧设有限位块。

优选的，所述固定孔对称设置在隔离块底端两侧，所述固定孔与加强筋直径及位置相互对应，所述固定孔末端设有与限位块相互匹配的限位槽。

优选的，所述限位槽一端设有弹块，所述弹块为环状结构，所述弹块设置在隔离块内部，所述弹块与隔离块滑动连接。

优选的，所述弹块一端设有挤压块，所述挤压块穿过隔离块侧壁固定设置在弹块上，所述滑动槽底端设有与挤压块大小一致的挤压孔。

优选的，所述移动块为环形结构，所述移动块内侧固定设有挤压板，所述挤压板为弧形结构，所述移动块与外壳固定连接。

优选的，所述移动块为环形结构，所述移动块内侧固定设有挤压板，所述挤压板为弧形结构，所述移动块与外壳固定连接。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

本发明属于柔性加热设备技术领域，具体公开了一种用于半导体设备排气管道的防触电柔性加热器，本发明通过设置的组合式结构可以按需求进行多段装置组合后进行使用，适应各种不同长度的管道加热，通过设置的加强筋不仅可以有效将两段装置进行相互连接组合，还具有一定的延展性，在两端装置进行弯曲时进行变形以适应管道的使用。

附图说明

图1为本发明的结构示意图一；

图2为本发明的结构示意图二；

图3为本发明的结构示意图三；

图4为本发明的俯视图；

图5为本发明的隔离块结构示意图；

图6为本发明的隔离块爆炸示意图；

图7为本发明的隔离块剖面图；