[发明专利]用于与工具对接的掩模版盒转换板

权利要求书

1.一种装置，包括：

板，所述板具有正表面和背表面，所述背表面与所述正表面相对；

位于所述正表面上的掩模版盒接纳结构，所述掩模版盒接纳结构至少部分地界定所述正表面上的掩模版盒接纳区域，所述背表面具有销钉接合结构，所述销钉接合结构适于与多个销钉接合；以及

流体流动通道，其适于在掩模版盒被定位在所述掩模版盒接纳区域中时允许与所述掩模版盒的内部区域流体连通。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述多个销钉包括三个SEMI标准装载端口销钉，并且其中，所述掩模版盒接纳结构包括多个单独的掩模版盒接纳导引件。

3.根据权利要求1所述的装置，其中，所述流体流动通道的至少一部分位于所述板内。

4.根据权利要求1所述的装置，其中，所述流体流动通道包括流体流动导管，并且其中，所述流体流动导管的至少一部分由所述板直接或间接地机械支撑。

5.根据权利要求1所述的装置，进一步包括：

从所述板的所述正表面延伸到所述板的所述背表面的开口；以及

位于所述开口附近的接合表面，所述接合表面具有位于所述正表面的水平面下方的水平面处的表面。

6.根据权利要求1所述的装置，进一步包括掩模版盒固定机构，所述掩模版盒固定机构可操作地耦接到所述板或所述掩模版盒接纳结构中的至少一者，其中，所述掩模版盒固定机构适于与掩模版盒的表面接合，以将所述掩模版盒固定在所述掩模版盒接纳区域中。

7.根据权利要求1所述的装置，其中，所述销钉接合结构包括多个通道，其中，所述多个通道中的每一个适于与所述多个销钉之一接合。

8.根据权利要求1所述的装置，其中，所述流体流动通道包括：

形成在所述板中的凹槽；

与所述凹槽流体连通的第一开口，所述第一开口从所述板的所述背表面延伸到所述凹槽；以及

位于所述凹槽上方的第一盖板。

9.根据权利要求8所述的装置，其中，所述凹槽具有底表面，并且其中，所述第一开口延伸到所述凹槽的底表面。

10.根据权利要求8所述的装置，进一步包括：

与所述板的所述背表面耦接的第二盖板；以及

位于所述第二盖板中的第二开口，其中，所述第二开口与所述第一开口流体连通。

11.根据权利要求8所述的装置，进一步包括：

销钉，其具有位于所述第一盖板的上表面的水平面上方的水平面处的最高表面；以及

垫圈，其位于所述销钉周围并且在所述第一盖板的所述上表面上。

12.一种装置，包括：

板，所述板具有正表面和背表面，所述背表面与所述正表面相对；

位于所述正表面上的掩模版盒接纳结构，所述掩模版盒接纳结构至少部分地界定所述正表面上的掩模版盒接纳区域，所述背表面具有销钉接合结构，所述销钉接合结构适于与多个销钉接合；

从所述板的所述正表面延伸到所述板的所述背表面的开口；以及

位于所述开口附近的接合表面，所述接合表面具有位于所述正表面的水平面下方的水平面处的表面。

13.根据权利要求12所述的装置，进一步包括掩模版盒板固定机构，所述掩模版盒板固定机构可操作地耦接到所述板或所述掩模版盒接纳结构中的至少一者，其中，所述掩模版盒板固定机构适于与掩模版盒的表面接合，以将所述掩模版盒固定在所述掩模版盒接纳区域中。

14.根据权利要求12所述的装置，进一步包括流体流动通道，所述流体流动通道适于在掩模版盒被定位在所述掩模版盒接纳区域中时允许与所述掩模版盒的内部区域流体连通。