[发明专利]一种耐高温防腐绝缘的气相沉积设备

权利要求书

1.一种耐高温防腐绝缘的气相沉积设备，其特征在于，包括气相反应室，气相反应室包括底座、隔热框架、气体入口、晶圆托盘和气体出口，底座固定设置在气相反应室的底部，隔热框架架设在底座的上方且与底座固定连接，晶圆托盘设置在底座的上表面，气体入口设置在隔热框架的顶部，气体出口设置在隔热框架的一个侧面；隔热框架的材料为改性石英。

2.根据权利要求1所述的一种耐高温防腐绝缘的气相沉积设备，其特征在于，所述气体入口设置为至少两个，气体出口设置为一个。

3.根据权利要求1所述的一种耐高温防腐绝缘的气相沉积设备，其特征在于，所述气体出口处位于隔热框架的外侧连接有抽气装置。

4.根据权利要求1所述的一种耐高温防腐绝缘的气相沉积设备，其特征在于，所述晶圆托盘的材料为石墨、碳化硅或氮化钛。

5.根据权利要求1所述的一种耐高温防腐绝缘的气相沉积设备，其特征在于，所述改性石英按照重量份计算，包括：100份石英粉、6～12份改性氮化钛微球和1～2份粘合剂。

6.根据权利要求5所述的一种耐高温防腐绝缘的气相沉积设备，其特征在于，所述石英粉的粒径为200～400目。

7.根据权利要求6所述的一种耐高温防腐绝缘的气相沉积设备，其特征在于，所述粘合剂为泊洛沙姆、氰基丙烯酸酯和低分子聚酰胺按照质量比为12～15:8～10:1混合后得到。

8.根据权利要求6所述的一种耐高温防腐绝缘的气相沉积设备，其特征在于，所述改性氮化钛多孔微球是通过使用钽化铪纳米材料对氮化钛微球进行改性得到。

9.根据权利要求5所述的一种耐高温防腐绝缘的气相沉积设备，其特征在于，所述改性石英的制备方法为：

C1.按量称取所述石英粉、所述改性氮化钛微球和所述粘合剂混合后，加入至行星球磨机内，以二氧化锆球作为混料球，进行干粉研磨，得到第一石英混合粉末；其中研磨时间为1～3h，球磨机速率为400～500rpm，球料比为5～8:1；

C2.将第一石英混合粉末压制成块状后放入高温炉内，在稀有气体的保护下，升温至650～750℃，烧结处理2～5h，冷却至常温后，得到第二石英混合粉末；

C3.将第二石英混合粉末投入熔炼炉内，设置熔炼炉的温度为1800～1900℃，熔炼时间为2～4h，冷却后，得到改性石英。